双极技术

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一种适用于互补双极技术的双层多晶硅自对准PNP晶体管的设计
《重庆邮电大学学报（自然科学版）》2007年第6期669-673,共5页李荣强 谢正旺 曾鹏 
通过仿真与实验设计出了一种高性能的双层多晶硅自对准PNP晶体管工艺流程,分析了关键工艺技术,器件性能达到fT=8.5 GHz,β=60,BVCEO=8 V。该工艺与已有的双层多晶硅自对准NPN晶体管工艺相兼容,可用于制造高性能的互补双极电路。
关键词：双层多晶硅 自对准 PNP 互补双极 
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