探测器芯片

作品数:28被引量:31H指数:3
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相关机构:中国科学院中国电子科技集团第十一研究所昆明物理研究所武汉高芯科技有限公司更多>>
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红外探测器芯片表面应力释放技术比较研究被引量:1
《中国电子科学研究院学报》2022年第6期606-610,618,共6页段晓丽 徐步陆 
红外焦平面探测器产品易受特殊工作环境、材料热应力失配影响而出现芯片断裂等失效现象,因此,为确保可靠性,对探测器芯片提出了更为迫切的要求。专利技术是法定的知识产权保护手段,专利所披露的探测器芯片可靠性问题的技术路线和解决方...
关键词:红外焦平面探测器 芯片 应力释放 可靠性 
红外焦平面探测器芯片应力降低方法研究被引量:1
《红外》2022年第3期16-21,共6页张洪瑀 刘森 
以1280×1024红外焦平面探测器为例,利用三维可视化实体模拟软件建立了包含冷指部件、陶瓷框架、探测器芯片的三维模型,并利用ANSYS仿真软件对模型(仅球形冷台结构与常规冷台不同,其余零件均相同)进行了仿真对比。研究结果表明,球形冷...
关键词:红外探测器 有限元仿真 可靠性 
320×240混合式非制冷红外焦平面探测器芯片工艺研究被引量:3
《红外技术》2010年第1期1-5,共5页许娅明 任华 
热释电非制冷红外探测器具有成本低廉、无需制冷等优异特点,在红外探测和红外成像领域占有极其重要的地位。从热释电非制冷焦平面探测器的晶片制备、红外吸收结构设计、倒装互连等关键工艺的研究进行了阐述,其研究试验最终实现了320×24...
关键词:混合式 热释电 非制冷红外焦平面 工艺流程 
氧化钒非制冷红外焦平面探测器芯片工艺研究被引量:5
《红外技术》2009年第1期1-4,共4页袁俊 太云见 雷晓虹 何雯瑾 陈妞 
非制冷红外探测器具有成本低廉、无需制冷等优异特点,在红外探测和红外成像领域占有极其重要的地位。从氧化钒非制冷焦平面探测器的牺牲层、支撑层、氧化钒等制备工艺进行了研究,为国内非制冷焦平面探测器工程化研究奠定了坚实的技术基础。
关键词:非制冷 红外焦平面 氧化钒 工艺 
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