电磁型

作品数：132被引量：308H指数：9
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基于UV-LIGA技术的电磁型射频MEMS开关的集成制作被引量：1
《微细加工技术》2007年第5期56-60,共5页张永华 欧阳炜霞 汪红 丁桂甫 蔡炳初 赖宗声 
国家863计划资助项目(2003AA404140);信息产业部电科院预研资助项目(41308050116);国家自然科学基金资助项目(60676047);上海-应用材料研究发展基金资助项目(06SA11);上海交通大学优秀博士学位论文基金资助项目
电磁型MEMS开关比静电式的结构复杂,一体化集成加工困难。对于新型电磁驱动双稳态RF MEMS开关进行了材料的选择,并对一些主要材料的电镀和悬空结构的制备与释放进行了工艺优化研究。经过工艺整合,实现了电磁型RF MEMS开关的多种非硅材...
关键词：微机电系统 射频开关 双稳态 电磁驱动 集成加工 
电磁型双稳态射频开关的微机械结构设计被引量：7
《上海交通大学学报》2004年第5期725-728,共4页张永华 丁桂甫 赵小林 马骏 蔡炳初 
国家高技术研究发展计划(863)项目(2003AA404140);信息产业部电科院预研项目(41308050116);国家自然科学基金资助项目(10377009)
提出了利用电磁驱动机理优点的双稳态射频微电子机械系统(RFMEMS)开关结构形式.开关的微驱动部分由导磁的悬梁、扭梁和线圈、永磁体组成.由于采用了永磁铁单元,可以实现对开关的双稳态电磁控制,从而降低了开关的功耗.对开关的微机械结...
关键词：射频 微电子机械系统 开关 双稳态电磁驱动 模型分析 
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