铁电电容

作品数：26被引量：19H指数：2
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一种新的铁电电容模型及其在1T/1C FeRAM中的应用被引量：1
《固体电子学研究与进展》2004年第1期123-129,共7页程旭 汤庭鳌 王晓光 钟宇 康晓旭 
国防科技预研项目;AM基金项目;博士点基金项目资助
随着集成铁电工艺的迅速发展和铁电电容的广泛应用 ,铁电电容模型的缺乏已成为制约基于铁电电容电路设计和优化的瓶颈。文中提出的非线性双电容铁电电容模型是线性双电容铁电电容模型的改进 ,它不仅与线性双电容模型一样易于用宏模型实...
关键词：铁电电容 宏模型 稳态模型 FERAM 读出容限 
铁电存储器中Pb(Zr,Ti)O_3集成铁电电容的制备
《固体电子学研究与进展》2003年第1期112-115,共4页黄维宁 姜国宝 林殷茵 汤庭鳌 
国家自然科学基金项目 (编号 698760 0 8);应用材料 (AM)基金项目资助
在铁电不挥发存储器 (FERAM)技术中 ,集成铁电电容的制备是关键工艺之一。文中提出一种制备集成铁电电容的改进工艺 :采用 lift-off技术在衬底样品表面淀积铁电电容 Pt/Ti下电极 ,然后用 Sol-Gel方法制备 PZT薄膜。在 PZT薄膜未析晶前 ...
关键词：铁电存储器 Pb(Zr Ti)O3 锆钛酸铅 铁电薄膜 铁电电容 
铁电电容的电极结构
《固体电子学研究与进展》2000年第3期330-333,共4页姜国宝 黄维宁 汤庭鳌 
国家自然科学基金项目!(编号 6 9876 0 0 8);应用材料 (AM)基金;"86 3"项目;上海应用物理中心基金
作为铁电电容的电极材料 ,铂是使用最为广泛的金属。在 PZT薄膜的上下两层分别用离子束溅射淀积厚度为 50 nm和 10 0 nm的 Pt。在铂层上按常规工艺需蒸发 1～ 2 μm的 Al作为布线金属。为避免在热处理过程中的固相反应 ,Al/ Pt之间还需...
关键词：电极 换电电容 固相反应 阻挡金属 
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