铁电电容

作品数：26被引量：19H指数：2
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相关作者：任天令翟亚红廖敏贾泽周益春更多>>
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Hf0.5Zr0.5O2基铁电电容器的特性研究被引量：1
《微电子学》2019年第3期418-421,426,共5页王健健 白华 许高博 李梅 毕津顺 
国家自然科学基金资助项目(616340084)
利用原子层淀积工艺制备了9 nm厚的铪锆氧(Hf0.5Zr0.5O2)铁电薄膜。通过淀积TiN顶/底电极形成Hf0.5Zr0.5O2铁电电容,研究退火工艺和机械夹持工艺对铁电电容性能的影响。实验结果表明,极化强度-电压曲线为电滞回线形,双倍剩余极化强度达3...
关键词：铪锆氧 铁电电容 机械夹持 剩余极化强度 矫顽电压 
铁电存储器单元信号的测试与研究被引量：1
《微电子学》2013年第6期792-796,801,共6页翟亚红 李威 李平 胡滨 李俊宏 辜科 
国家自然科学基金资助项目(61204084)
基于电子科技大学研制的铁电电容的参数,修正了HSIM软件中的铁电电容模型,利用此模型,设计了2T-2C铁电存储单元的读写电路,分析了位线电容的匹配性问题。完成了铁电电容工艺与标准CMOS工艺的集成,并进行了芯片测试。通过调节位线寄生电...
关键词：铁电电容 铁电存储器 位线电容 读出容差 
一种4k位串行铁电不挥发存储器的VLSI实现被引量：1
《微电子学》2001年第4期255-259,275,共6页汤祥云 王岸如 程旭 汤庭鳌 
国家自然科学基金项目 ( 698760 0 8) ;"863"项目 ;AM基金项目
文章提出了一个基于 VLSI的 4k位串行铁电不挥发存储器的实现方案。该电路采用2 T- 2 C的存储单元设计 ,针对铁电电容的读出和写入的电流电压特性设计了相应的读写时序 ,给出了状态机的描述和相应的电路实现。该电路与通用的 E2 PROM 2 ...
关键词：铁电电容 VLSI 存储器 
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