扭摆

作品数:205被引量:427H指数:11
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基于LM_BP神经网络模型的MEMS加速度计温度补偿方法研究被引量:4
《仪表技术与传感器》2015年第11期30-33,共4页杨志梅 周小龙 徐大诚 
国家科技支撑计划(2015BAZ05750)
随着MEMS加速度计应用领域的不断广泛,其温度性能越来越受到重视。在研究扭摆式硅微加速度计结构与温度特性的基础上,采用改进LM_BP神经网络来构建MEMS加速度计的补偿模型,通过实时温度变化优化出温度补偿模型参数,进而实现实时温度补...
关键词:扭摆式硅微加速度计 神经网络 温度补偿 标度因数 零偏稳定性 
用于液相检测的谐振式电磁扭摆
《仪表技术与传感器》2011年第2期1-3,共3页李翔 陈德勇 王军波 
国家自然科学基金项目(60772018)
提出了一种工作在扭转模态的微机械谐振器,与传统的弯曲模态相比,扭转模态能量损耗低,更适用于液相检测。通过ANSYS仿真优化了结构,针对液相中阻尼较大的特点设计可输出大电流的驱动电路,并根据扭摆的输出与速度相关的特点设计了能量补...
关键词:扭转模态 液相 能量补偿 品质因数 
用于液相检测的微机械扭摆谐振器
《仪表技术与传感器》2009年第B11期324-325,338,共3页李翔 陈德勇 王军波 
国家自然科学基金项目(60772018)
提出了一种在扭转模态工作的微机械谐振器,与传统的弯曲模态相比,扭转模态能量损耗低,故更适用于液相检测。通过理论建模优化了结构;通过加入合适的补偿电路使谐振器在液体中的Q值达到500;此传感器包含检测扭摆和参比扭摆,对两个摆在闭...
关键词:扭转模态 液相检测 参比扭摆 
扭摆式硅微加速度计的优化设计
《仪表技术与传感器》1999年第11期8-10,共3页裘安萍 王寿荣 陈玮 
文中介绍了扭摆式硅微加速度计的结构原理和对其进行最大灵敏度优化设计的方法。计算结果表明,对硅微加速度计的结构参数进行优化,可以最大限度地提高传感器的性能。
关键词:微机械加速度计 优化设计 硅微加速计 加速度计 
微硅型扭摆式静电力平衡加速度计的设计分析被引量:2
《仪表技术与传感器》1999年第4期10-13,共4页吴建辉 
】文中详细提出了微硅型扭摆式静电力平衡加速度计设计的基本理论,根据加速度计的性能指标,应用该理论可以确定加速度计的结构参数;测量电路的回路增益、再平衡电压等电气参数。
关键词:扭摆式 静电力平衡 加速度计 设计分析 微硅型 
扭摆式微加速度传感器的优化设计
《仪表技术与传感器》1999年第3期1-2,共2页罗晓章 周百令 张燕娥 
国防科技预研基金
】扭摆式微加速度传感器是一种用于测量运动物体加速度的微型传感器,在许多领域都有极其广泛的应用,是当今微米/纳米技术发展的一个主要方向。文章论述了其结构组成,分析了其工作机理,给出了其设计原则和加工工艺,最后通过实例验...
关键词:微加速度传感器 优化设计 设计原则 
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