硼扩散

作品数：43被引量：49H指数：4
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TOPCon电池低压硼扩散设备的发展趋势分析被引量：1
《电子工业专用设备》2023年第1期1-6,59,共7页刘建华 龙辉 李程 梁浩 李楠 
随着太阳能光伏发电对晶体硅电池高转化效率需求的不断增加,对晶体硅电池技术关键设备投资性价比和发电性能的要求更高。对晶硅电池发展工艺技术进行了阐述,分析讨论了国内外隧穿氧化层钝化接触电池(简称“TOPCon”)低压硼扩散炉的发展...
关键词：太阳能 光伏发电 隧穿氧化层钝化接触电池 高转化效率 硼扩散 
硼扩散机理及工艺应用技术研究被引量：3
《电子工业专用设备》2020年第3期5-12,共8页姬常晓 黄志海 程文进 赵志然 张威 汪已淋 
中国-埃及可再生能源联合实验室项目(KY201501003)。
针对高效晶硅太阳电池对表面扩散掺杂技术的要求,阐述了干法硼扩散掺杂原理及弊端;通过引入湿法再分布扩散方式,分析了气体流量、水汽流量和工艺匹配性等因素对硅片表面扩散效果的影响;根据和干法扩散方式在应用效果方面的对比,分析了...
关键词：高温扩散 干法硼扩散 湿法再分布硼扩散 
硼扩散技术研究被引量：1
《电子工业专用设备》2011年第12期12-14,共3页王春梅 佟丽英 史继祥 王聪 
对硼扩散浓度和扩散深度的控制技术进行了研究。通过采用两步扩散步骤、预扩散采用双面扩散的方式、再分布采用密闭碳化硅管、控制扩散温度和扩散时间,有效地控制了扩散层浓度和结深。
关键词：硼 扩散浓度 扩散深度 
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