平面微弹簧

作品数：16被引量：59H指数：5
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应用于电磁驱动器的非线性平面微弹簧及其集成制造工艺研究
《传感技术学报》2020年第2期167-172,共6页邵秀锋 赵小林 戴旭涵 唐智勇 黄建泽 丁桂甫 
国家自然科学基金项目(51875337)。
平面微弹簧是MEMS器件(如微驱动器、开关等)中一种常用的微结构。目前,平面非线性微弹簧的设计、制造与应用正日益成为关注的焦点。本文针对微机械电磁驱动器的需求,研制了一种变形量在100 μm左右,弹性变形力在5 mN附近的非线性变刚度...
关键词：微机电系统 非线性平面微弹簧 仿真 集成制造 
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