气敏薄膜

作品数：64被引量：130H指数：5
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基于激光超声表面波检测的瓦斯检测研究被引量：1
《传感器与微系统》2010年第7期50-52,共3页付华 乔德浩 池继辉 
国家自然科学基金资助项目(50874059);辽宁省优秀人才计划基金资助项目(2007R24);教育部博士点基金资助项目(200801470003);辽宁省科技攻关计划资助项目(2006220019)
利用SnO2/Pt气敏薄膜对瓦斯气体的选择性吸附作用将引起声表面波在其表面的传播速度发生相应改变的性质,并结合激光超声检测技术,提出了一种新的瓦斯检测方法。采用激光在覆有选择性气体吸附薄膜的抛光铝材表面激发出声表面波,用单芯光...
关键词：瓦斯传感器 声表面波 激光超声检测 气敏薄膜 
WO_3气敏薄膜的膜厚对气体响应时间的影响被引量：2
《传感器与微系统》2007年第6期12-14,共3页尹英哲 胡明 冯有才 
用简单的模型分析了薄膜气体传感器敏感材料的膜厚对气体响应时间的影响,该模型适用于分析WO3薄膜气体传感器的敏感特性。薄膜气体传感器的敏感特性依赖于气体原子在薄膜内的扩散和与气敏材料的响应;而气体原子在薄膜内的扩散是由薄膜...
关键词：WO3薄膜 响应时间 气体传感器 
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