气敏薄膜

作品数：64被引量：130H指数：5
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氧化锡气敏薄膜的喷墨打印技术研究被引量：3
《传感技术学报》2017年第4期496-499,共4页杨英花 余隽 吴昊 李中洲 唐祯安 
硅基纳米多级复合结构集成气体传感器项目(61131004);基于形变在线调控技术研究微热板气体传感器在应力作用下的稳定性和可靠性项目(61274076);中国工程物理研究院科学技术发展基项目(2012A0403018)
喷墨打印技术具有无需掩膜图形化、室温加工、方便操作等优点。利用喷墨打印技术在微热板上打印SnO_2多孔薄膜。根据打印机的定位精度和微热板的悬空尺寸设计了打印图形,根据目标厚度确定打印层数,以及打印后的干燥工艺参数;通过扫描电...
关键词：喷墨打印 气体传感器 微热板 气敏薄膜 
气敏薄膜表面吸附结合能的宏观测量方法
《传感技术学报》2005年第3期573-575,共3页邢建平 
山东省电子发展专项基金(2003118JNZX)
在采用溅射方法制备的ZnO、SnO2/CeO2纳米平面气敏薄膜实验基础上,总结了气敏薄膜响应时间和恢复时间τc的宏观测量的特征时间次方规律。显微物理化学特性对研究气敏薄膜是十分必要却难以由微观直接测量获得,我们通过上述实验结果与气...
关键词：响应时间 吸附结合能 气敏 测量 
SnO_2∶Sb气敏薄膜的最佳掺杂含量的理论计算
《传感技术学报》2002年第4期315-317,共3页潘良玉 陈玖琳 范志新 
本文介绍一个最佳掺杂含量表达式 ,应用此表达式定量计算了 Sn O2 ∶ Sb气敏薄膜的最佳掺杂含量 ,定量计算的结果与实验数据十分符合。
关键词：气敏元件 晶体结构 制备方法 最佳掺杂含量 理论计算 
ZnO系薄膜对NO_x气体的气敏光透射特性
《传感技术学报》1999年第2期123-126,共4页贺洪波 范正修 易葵 
用射频磁控溅射方法制备了纯氧化锌（ＺｎＯ）薄膜和掺Ａｇ、掺Ｐｔ与掺Ｐｄ的 ＺｎＯ三种气敏光学薄膜．测量了这些薄膜在 ＮＯ_ｘ气体中的透射光谱，然后由透射光谱获得了灵敏度的变化规律，并用吸附平衡关系式解释了气敏光透射特性...
关键词：气敏薄膜 NOx气体 光透射 大气污染 氧化锌薄膜 
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