汽相外延

作品数：43被引量：19H指数：3
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MOVPE生长Hg_(1-x)Cd_xTe薄膜的实验研究
《红外技术》2002年第4期35-38,26,共5页张怀若 杨玉林 张梅 李艳辉 张静蓉 杨宇 姬荣斌 
采用金属有机化合物汽相外延法 (MOVPE)和多层膜互扩散生长工艺 (IMP)在不同的生长条件下生长了许多Hg1-xCdxTe/GaAs(2 11)薄膜样品 ,并对样品进行了傅利叶红外透射 (FTIR)和范德堡Hall测量 ;通过对许多实验数据进行系统的对比分析 ,总...
关键词：衬底 汽相外延 多层膜互扩散 厚度 半导体 红外探测器 
开管汽相外延法生长碲镉汞晶膜被引量：1
《红外技术》1991年第6期15-17,共3页吴长树 张光华 宋炳文 张景韶 
报道用开管汽相外延法生长长波碲镉汞晶膜的结果。实验表明,用这种方法容易得到适合红外焦平面列阵器件制备用的大面积均匀优质碲镉汞晶膜。
关键词：汽相外延 外延生长 碲镉汞晶膜 
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