中频磁控溅射

作品数：74被引量：187H指数：6
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相关作者：邓建新邢佑强吴泽王首军宋文龙更多>>
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ECR结合中频磁控溅射制备掺Cu类金刚石膜工艺及性能研究被引量：1
《润滑与密封》2012年第4期57-61,共5页佘博西 李书昌 谷坤明 刘锐森 汤皎宁 
广东省科技计划项目(2009B010900035);深圳市科技计划项目(JC200903130309A);广东省大学生创新实验项目(1059010012)
为改善DLC膜的内应力及导热问题,采用ECR微波等离子体化学气相沉积及中频磁控溅射的方法制备掺Cu类金刚石膜,研究溅射电流对薄膜中Cu含量、薄膜表面形貌、结构及机械性能的影响。结果表明:改变溅射电流能有效地控制类金刚石膜中金属含量...
关键词：类金刚石膜 电子回旋共振 中频磁控溅射 气相沉积 
MoS_2-Zr复合薄膜的摩擦磨损特性研究被引量：7
《润滑与密封》2008年第2期35-39,共5页宋文龙 邓建新 张辉 
国家自然科学基金资助项目(50475133,50675120);新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-04-0622)
采用中频磁控溅射技术及多弧离子镀相结合的复合镀膜工艺,在硬质合金YT14基体上制备了MoS2-Zr复合薄膜。采用扫描电子显微镜(SEM)观察了MoS2-Zr复合薄膜表面及截面形貌,利用多功能材料表面性能试验仪测试了薄膜的厚度、结合力,利用显微...
关键词：中频磁控溅射 MoS2-Zr复合薄膜 结构 摩擦特性 
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