云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 中频磁控溅射

中频磁控溅射: 作品数：74被引量：187H指数：6; 导出分析报告; 相关领域：金属学及工艺一般工业技术更多>>; 相关作者：邓建新邢佑强吴泽王首军宋文龙更多>>; 相关机构：中国科学院山东大学东南大学武汉大学更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金国家重点基础研究发展计划国家科技重大专项更多>>

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离子源功率对a-C:H(Al)薄膜结构及性能的影响: 《表面技术》2017年第6期143-150,共8页赵凤丽代明江林松盛许伟侯慧君; 广东省科技计划项目(2014B050503005;2014B050502008;2014B070706026);广东省科学院平台建设项目(2016GDASPT-0206;2016GDASPT-0317)~~; 目的研究离子源功率对a-C:H(Al)薄膜结构及性能的影响。方法采用阳极离子源离化CH_4气体,中频磁控溅射Al靶,通过改变离子源功率,在n(100)型单晶硅及16Mn Cr5钢基体上沉积a-C:H(Al)薄膜。利用扫描电镜、维氏显微硬度计、摩擦磨损试验机...; 关键词：类金刚石薄膜 a-C:H(Al)薄膜中频磁控溅射离子源功率结合强度摩擦学力学性能

复合工艺制备TiAlN薄膜及其高温抗氧化性能研究被引量：5: 《表面技术》2010年第6期22-25,共4页林小东宋绪丁傅高升; 福建省教育厅A类科技项目基金资助(JA07205); 采用Ti靶电弧离子镀与Al靶中频磁控溅射相结合的复合工艺,通过调节Al靶电流,在不锈钢基体上制备了TiN薄膜和TiAlN薄膜样品,并在热处理炉内对薄膜进行高温抗氧化试验,分析了薄膜氧化前后的表面形貌、断口形貌及显微硬度。结果表明:TiAlN...; 关键词：TIALN薄膜 TIN薄膜抗高温氧化性能中频磁控溅射电弧离子镀

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