注氧隔离技术

作品数：4被引量：1H指数：1
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注氧隔离技术SOI晶圆材料高温压阻效应被引量：1
《仪表技术与传感器》2011年第6期1-2,共2页李新 刘沁 
辽宁省自然基金项目(20102162);辽宁省微纳米技术及系统重点实验室;微系统与微制造辽宁省高校重点实验室开放基金项目
针对注氧隔离技术制备的SOI晶圆顶层硅材料的高温压阻效应,设计并制作研究压阻效应的实验装置与测试样品,在高温条件下,利用悬臂梁结构研究SOI晶圆顶层硅的压阻效应。研究结果表明:在一定的掺杂浓度条件下,硅[110]晶向上的纵向压阻系数...
关键词：压阻效应 注氧隔离 高温 
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