钛扩散

作品数:29被引量:41H指数:4
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晶片与光刻胶温度差对波导损耗的影响被引量:9
《光通信技术》2015年第12期8-11,共4页闫广拓 张爱玲 何培栋 孙钦芳 
国家自然科学基金(61377075)资助
研究了铌酸锂晶片与光刻胶之间的温度差对钛扩散铌酸锂波导传输损耗的影响。分别在高温度差和低温度差下制备了钛扩散铌酸锂波导,并对其进行了测量。对比实验结果表明,温度差相对较低时,可以得到较大的波导模场尺寸和较小的波导传输损...
关键词:钛扩散 铌酸锂波导 损耗 
近化学计量比Ti:PPLN平面光波导
《光通信技术》2013年第11期60-62,共3页张帅 顾超 牛德森 肖克楠 张远航 华平壤 
使用钛扩散的方法在Z切铌酸锂(LiNbO3)基片上制备平面光波导,并进行富锂气相输运平衡(VTE)处理,获得平面光波导。利用外加电场法对其周期极化,制备出近化学计量比钛扩散周期极化铌酸锂(Ti:PPLN)平面光波导。对近化学计量比Ti:PPLN平面...
关键词:钛扩散 气相输运平衡 铌酸锂 周期极化 光波导 
钛扩散LiNbO_3晶体光波导长周期光栅被引量:1
《光通信技术》2010年第1期12-14,共3页谌贝 王琴 康田 
设计了一种钛扩散铌酸锂(LiNbO3)晶体光波导结构,并在该基础上制作了长周期光栅。使用两步钛扩散方法在Z切LiNbO3基片上制造了波导,它包括一个单模芯层和一个平面包层,之后用光刻胶光栅置于波导表面。实验证明用这种结构设计长周期波导...
关键词:铌酸锂 长周期光栅 光波导 钛扩散 
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