微传感器

作品数:328被引量:985H指数:15
导出分析报告
相关领域:自动化与计算机技术电子电信更多>>
相关作者:马炳和邓进军罗剑廖小平杨波更多>>
相关机构:东南大学西北工业大学北京航空航天大学中国科学院更多>>
相关期刊:更多>>
相关基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划中国航空科学基金更多>>
-

检索结果分析

结果分析中...
选择条件:
  • 期刊=微纳电子技术x
条 记 录,以下是1-6
视图:
排序:
浮动式剪应力微传感器的标定被引量:2
《微纳电子技术》2014年第4期236-242,共7页项志杰 马炳和 邓进军 韩蕾 秦文君 
国家自然科学基金资助项目(50775188)
流体壁面剪应力微传感器的精确标定是进行流动测量的基础。分别采用自重加载、离心加载和风洞吹风三种不同方法,对基于电容检测原理的浮动单元剪应力微传感器进行标定与实验研究。对比了三种实验方法和标定的结果,分析了标定过程中的设...
关键词:剪应力 微传感器 浮动单元 标定 误差 
柔性MEMS衬底材料及其在传感器上的应用被引量:5
《微纳电子技术》2009年第10期604-609,共6页郑湃 吴丰顺 刘辉 周龙早 吴懿平 
国家自然科学基金资助项目(60776033)
概述了MEMS器件衬底材料的功用及分类(刚性材料和柔性材料)。根据其使用柔性衬底材料的不同,将其分为有机聚合物材料(聚酰亚胺、硅橡胶、聚对苯二甲酸乙二醇酯和聚对二甲苯、硅树脂)和金属及陶瓷材料(不锈钢和氧化铝)。重点阐述了材料...
关键词:柔性衬底 有机聚合物 不锈钢 氧化铝 微传感器 
用于水质检测的微传感器及微系统被引量:13
《微纳电子技术》2009年第6期350-357,共8页卞贺明 夏善红 
着重介绍了用于水质检测的电化学、声学、光学三种类型微传感器以及微分析系统、微传感片上系统两类微系统的基本原理、特点和研究进展;比较了不同类型微传感器的性能差异;讨论了目前水质检测微传感器及微系统在研究中存在的主要问题及...
关键词:水质检测 微传感器 微分析系统 片上实验室 片上系统 
简化的液体流微传感器
《微纳电子技术》2008年第12期740-740,共1页
瑞士传感器制造商SensirionAG正在扩展其技术组合以用于液体流传感器的解决方案。该微传感器专家宣布了可用于非侵入式液体流传感器(基于平面微流体衬底)的微小化新技术。封装上的创新使Sensirion高敏感度热流传感器芯片能够通过微流...
关键词:微传感器 液体流 技术组合 非侵入式 传感器芯片 微流体 制造商 微小化 
基于硅微传感器的混合机桨叶状态无线测试系统
《微纳电子技术》2007年第7期162-164,共3页滕淑芬 钱政 
混合是固体火箭推进剂制造过程中的一个关键工序,需在线测量桨叶上的压力信号。为此,设计并实现了混合机桨叶状态的在线检测系统,对实现过程中的若干关键技术进行深入研究,系统通过了现场联调。最后对测试系统设计过程中存在的不足进行...
关键词:混合机 硅微压阻压力传感器 在线检测系统 
气象检测微系统软件开发
《微纳电子技术》2003年第7期71-73,共3页胡德胜 张中平 黄庆安 
介绍了由硅微传感器组成的自动气象站网络 ,并对整个网络的数据采集和数据处理的系统软件的实现做了详细的说明 ,而且从系统的硬件组成到系统软件的模块设计都作了介绍。本软件完成了从远程控制系统采集现场的气象数据 ,实现了一机对多...
关键词:气象检测 软件开发 硅微传感器 微电子机械系统 自动气象站 数据采集 串行通信 
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部