微电铸

作品数：74被引量：212H指数：8
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相关领域：化学工程电子电信更多>>
相关作者：杜立群刘冲丁桂甫阮久福赵明更多>>
相关机构：大连理工大学上海交通大学中国科学院合肥工业大学更多>>
相关期刊：《机械工程学报》《机械设计与制造》《兵工学报》《国防制造技术》更多>>
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金属微通道结构UV-LIGA精密成形技术研究被引量：1
《电子机械工程》2018年第6期39-42,共4页吕辉 王仁彻 严战非 沈涛 杜立群 
装备预先研究项目(41423020308)
随着宽禁带功率芯片的使用,电子设备正朝着高性能化、高速度化以及高集成度化的方向发展,因此,高效散热问题亟待解决。微尺度通道内液体特殊的流动特性、尺度效应,可集中散发大量热量,为电子设备高效能散热开辟新的途径。文中针对金属...
关键词：金属微通道 厚胶膜 光刻 微电铸 
太赫兹波纹喇叭制造工艺技术实验研究被引量：6
《电子机械工程》2016年第2期50-52,56,共4页王仁彻 严战非 王向阳 曲宁松 
传输太赫兹(Terahertz,THz)波的馈源结构的特征尺寸在亚毫米量级,且精度要求高。波纹喇叭馈源结构具有良好的电讯特性,但内腔结构复杂,制造难度大。针对太赫兹波纹喇叭的具体结构和技术要求,对微细加工和微电铸工艺技术进行了调研和分析...
关键词：太赫兹 波纹喇叭馈源 微细加工 微电铸 
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