云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 微光开关

微光开关: 作品数：6被引量：21H指数：2; 导出分析报告; 相关领域：电子电信更多>>; 相关作者：高杨赵兴海季中杰贾欣严伟更多>>; 相关机构：上海交通大学中国工程物理研究院电子工程研究所江苏北方湖光光电有限公司华中科技大学更多>>; 相关期刊：《传感技术学报》《光通信研究》《Journal of Semiconductors》《微细加工技术》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国防科技技术预先研究基金国家高技术研究发展计划更多>>

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利用(110)硅片制作体硅微光开关的工艺研究被引量：5: 《Journal of Semiconductors》2004年第1期99-103,共5页张龙董玮张歆东刘彩霞陈维友徐宝琨; 国家高技术研究发展计划(批准号:2002 AA312023);国家自然科学基金(批准号:69937010);吉林省科学计划(批准号:20010319);跨世纪优秀人才培养计划基金资助项目; 采用基于湿法腐蚀工艺的体硅微机械加工方法,利用(110)硅片结晶学特性,通过光刻、反应离子刻蚀和湿法刻蚀等工艺,在硅片上同时制作出微光开关的微反射镜结构、悬臂梁结构、扭臂梁结构和光纤定位槽结构,器件的一致性好,制作工艺简单.利...; 关键词：微反射镜 {111}面湿法腐蚀粗糙度氢氧化钾溶液