微机械技术

作品数：79被引量：138H指数：7
导出分析报告
相关领域：电子电信更多>>
相关作者：王跃林王言任俊彦周兆英鲍敏杭更多>>
相关机构：复旦大学东南大学清华大学上海交通大学更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划重庆市科学技术委员会院士基金中国科学院重点实验室基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 期刊=仪器仪表学报x
共 条 记 录，以下是1-2
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
利用微机械技术的谐振器及集成光学传感器研究
《仪器仪表学报》1995年第S1期331-335,共5页王跃林 金仲和 丁纯 徐义刚 
国家重点自然科学基金;霍英东青年教师基金
本文以硅微机械技术为基础研究了微谐振器和集成光学传感器。讨论了不同激励与检测方式下的谐振器的理论、工艺及其性能。并研究了以硅脊形波导为基础制作集成光学传感器的理论与工艺问题。
关键词：集成光学 微谐振器 微机械技术 激励电压 悬臂梁 品质因素 硅微机械 谐振传感器 脊形波导 加热电阻 
微机械光学进展
《仪器仪表学报》1995年第S1期51-54,共4页王跃林 
本文介绍了微机械光学的基本概念及其出现的内在原因，讨论了其发展方向，列举了几个典型的研究实例来说明微机械光学的意义，最后就我国微机械光学的发展提出了一些见解。
关键词：微机械技术 干涉仪 斩光器 机械运动 光学平台 微光学元件 压力的传感器 硅微机械 微透镜 光波导 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部