微机械结构

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无掩模腐蚀下的凸角削角及补偿研究
《传感技术学报》1998年第3期1-6,共6页李昕欣 杨恒 沈绍群 鲍敏杭 
国家自然科学基金;中科院传感技术国家重点实验室;"九五"科技攻关等项目的资助
在使用无掩模腐蚀制作硅微机械结构时,其结构凸角的削角特性有别于常规有掩模腐蚀时的情况.本文通过分析和实验,研究了该情况下凸角削角尺寸的变化规律和特点,并给出了对其进行补偿的原则和方法.
关键词：硅 各向异性腐蚀 削角补偿 微机械结构 
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