微机械结构

作品数：26被引量：47H指数：4
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微机械结构的微静电驱动被引量：2
《电子器件》1995年第1期20-23,共4页茅盘松 王修伦 
本文讨论了微机械结构的微静电驱动技术的基本原理，同时结合硅微机械结构和材料特性，给出微静电驱动实现的考虑。
关键词：微机械结构 微静电 驱动 硅 
标准CMOS技术实现场氧微桥、悬浮薄膜
《电子器件》1990年第2期44-44,共1页孙国梁 
我们发现在标准CMOS工艺中有许多工艺可应用到微机械结构的制造中去.仅仅增加一步无需掩膜的KOH腐蚀工艺,用工业化3微米CMOS工艺(加拿大北方电讯电子有限公司提供)实现了许多微型桥、悬浮薄膜和螺旋弹簧微机械结构.
关键词：CMOS技术 微机械结构 工艺 薄膜 
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