微机械陀螺仪

作品数：117被引量：355H指数：9
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馈通效应下微机械陀螺仪标度因数特性分析
《仪表技术与传感器》2024年第8期39-44,共6页徐乾政 丁徐锴 李宏生 
微机械陀螺仪可动质量块、衬底和电极间存在复杂的寄生电容,使得陀螺仪的反馈力电极与检测读出电极间存在馈通效应。为研究馈通效应对微机械陀螺仪标度因数特性的影响,首先基于理论模型分析了不同模态频差下,馈通效应对检测回路开环零...
关键词：馈通效应 模态频差 标度因数 零点分布 分时控制 馈通抑制 
微机械陀螺仪零偏稳定性的温度响应测试评价被引量：3
《仪表技术与传感器》2022年第6期12-17,22,共7页杜晓辉 刘帅 朱敏杰 刘丹 孙克 王凌云 占瞻 路文一 
国家重点研发计划项目(2020YFB2010800);国家重点研发计划项目(2018YFF01010200);国家自然科学基金项目(62004079)。
设计对比分析实验并搭建测试系统,获得商品化微机械陀螺仪零偏稳定性对恒温(-40、25、60℃)和温度循环(-40~60℃)载荷的响应规律。恒温载荷下,石英基微机械陀螺仪零偏稳定性计算值在40(°)/h以下,硅基微机械陀螺仪零偏稳定性计算值约在1...
关键词：微机械陀螺仪 零偏稳定性 温度响应 对比测试 
基于等离子体朗缪尔流效应的新型微机械陀螺仪
《仪表技术与传感器》2007年第7期20-22,共3页汪学方 罗小兵 艾叶 刘胜 张鸿海 甘志银 
国家自然科学基金(50545012);国家"八六三"计划MEMS专项基金(2005AA404260)
首次将等离子体作为敏感元件应用于微机械陀螺仪中,取代目前微机械陀螺仪中所采用的固体、液体或气体等元件。利用气体放电产生的等离子体朗缪尔流效应来使敏感元件产生一定速度的运动,不需另外的驱动元件。介绍了等离子体朗缪尔流效应...
关键词：等离子体 朗缪尔流效应 陀螺仪 
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