微机械陀螺仪

作品数：117被引量：355H指数：9
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Z轴硅微机械陀螺仪温度特性研究被引量：10
《电子器件》2008年第6期1753-1756,共4页陈淑铃 杨波 王寿荣 
总装备部"十一五"预研课题资助项目(6922002055)
硅陀螺仪是近年来发展起来的一种新型角速度传感器,温度变化是其主要误差源之一。分析了温度变化对硅微陀螺仪的谐振频率和品质因数的影响,并选择常温下机械品质因数不同的两个陀螺在-40℃~80℃温度范围内进行测试,得出机械品质因数和...
关键词：微机械陀螺仪 温度特性 
硅微机械陀螺仪封装应力研究被引量：6
《电子器件》2007年第6期2294-2296,共3页施芹 苏岩 裘安萍 朱欣华 
国家自然科学基金资助项目(10572039);江苏省自然科学基金资助(BK2005064)
封装热应力会降低硅微机械陀螺仪性能,为了减小封装热应力,对封装热应力与封装材料之间的关系进行了研究.首先对封装的硅微机械陀螺仪结构进行了简化,建立了有限元模型,仿真并分析了在封装过程中陶瓷基底材料和粘接剂对热应力的影响.仿...
关键词：硅微机械陀螺仪 封装热应力 有限元 粘结剂 
内框驱动式硅微型角振动陀螺仪灵敏度研究被引量：2
《电子器件》2004年第1期189-191,共3页方玉明 茅盘松 
江苏省高校自然科学研究计划项目资助(项目编号:03KJB510089)
建立了内框驱动式硅微型角振动陀螺仪的运动方程,导出了灵敏度方程,提出了提高陀螺系统灵敏度的简单可行的方法,即:设计制造陀螺仪时,使内外框架固有频率相等,或驱动信号采用二个正弦波之和,二个正弦波的频率应选为框架的固有频率。
关键词：微机械陀螺仪 双框架 灵敏度 
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