微机械陀螺仪

作品数：117被引量：355H指数：9
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杠杆耦合式微机械陀螺仪特性分析
《压电与声光》2020年第1期118-122,共5页彭世刚 刘海鹏 高世桥 金磊 李泽章 
基于机械杠杆的位移放大效应,提出了一种具有微杠杆结构的电容检测式微机械陀螺结构,所设计的杠杆放大机构设置在陀螺的检测模态中,通过杠杆将科氏质量块的检测位移放大传递到检测框上,以提升检测位移。建立杠杆结构陀螺的二阶振动微分...
关键词：微机械陀螺 微杠杆 位移放大 阻尼比 谐振 
微机械陀螺仪的新进展及发展趋势被引量：13
《压电与声光》2014年第4期588-595,共8页许昕 何杰 王文 卜继军 
微机械陀螺仪是陀螺技术和微电子机械系统(MEMS)技术结合产生的新一代惯性器件。根据其工作原理和采用材料的不同,微机械陀螺可分为硅基微机械振动陀螺(Si-MVGs)、微机械压电振动陀螺(PVGs)和悬浮转子式微机械陀螺等。该文介绍了微机械...
关键词：硅基微机械陀螺 微机械压电振动陀螺 石英微机械陀螺 
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