尾气处理系统

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Edwards新型大容量涡轮分子真空泵最大化提升性能
《电子工业专用设备》2014年第2期69-70,共2页
英国西萨克斯郡克劳雷-Edwards有限公司（Edwards Limited）是一家全球领先的真空设备和尾气处理系统制造商及相关增值服务提供商，该公司日期推出了其STP—iXA4506大容量涡轮分子泵（TMP）。这款产品旨在为半导体、平板显示器、LED和...
关键词：涡轮分子泵 大容量 分子真空泵 最大化 增值服务提供商 性能 尾气处理系统 太阳能电池板 
EDWARDS成为450 mm晶圆制造设备联盟（F450C）的创始成员
《电子工业专用设备》2013年第7期65-65,共1页
联盟的成立是为了引导450m m 晶圆制造厂的建设和基础设施。 精密真空产品和尾气处理系统领先制造商及相关增值服务全球供应商E dw ards集团有限公司最近加入了一个由全球十家半导体设备公司组成，旨在组建450 m m 晶圆制造设备联盟...
关键词：晶圆制造 制造设备 联盟 半导体设备 基础设施 尾气处理系统 增值服务 制造厂 
EDWARDS公司IPUP2真空泵创立加载互锁和输送腔体应用新标准
《电子工业专用设备》2013年第7期65-66,共2页
精密真空产品和尾气处理系统领先制造商和相关增值服务领先供应商E dw ards集团有限公司已经推出了针对应用材料公司制造平台的加载互锁和输送腔体应用的全新集成式真空泵 IPU P2。该第二代泵在加载互锁抽真空时间、能耗和维护要求方面...
关键词：应用材料公司 真空泵 互锁 加载 腔体 输送 半导体制造商 尾气处理系统 
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