相位光栅

作品数：76被引量：139H指数：6
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投影光刻中相位光栅对准标记变形解决方案
《电子工业专用设备》2011年第6期7-9,36,共4页殷履文 盖玉喜 
描述了相位光栅对准法在步进重复投影光刻机中的运用,通过比较同轴对准系统和离轴对准系统的原理,工作过程,阐述了当对准标记产生变形时离轴对准系统能更好地修正偏差从而保证光刻工艺中套刻精度的要求。
关键词：对准系统 标记 相位光栅 
相位光栅自动对准技术研究被引量：1
《电子工业专用设备》1996年第3期8-14,共7页庞亚军 
阐述了相位光栅的成象原理，以及在分步曝光机关键技术自动对准上的应用，并对自动对准光路系统和电气控制系统进行了具体分析和研究。
关键词：相位光栅 空间滤波 曝光机 光刻 自动对准技术 
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