协同缓蚀

作品数：89被引量：340H指数：11
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TAZ与LS-97对铜CMP协同缓蚀效应
《半导体技术》2025年第5期473-480,共8页贺斌 高宝红 霍金向 李雯浩宇 贺越 王建树 
国家自然科学基金(61704046);河北省自然科学基金(F2022202072)。
极大规模集成电路(GLSI)中多层铜互连的化学机械抛光(CMP)是推动微电子技术发展的关键工艺之一。抑制剂是实现铜晶圆表面平坦化的重要因素,而表面活性剂可以改善铜晶圆的表面质量,因此抑制剂和表面活性剂的复配使用是研究的热点。通过...
关键词：化学机械抛光(CMP) 铜 缓蚀剂 表面活性剂 复配 
三嗪基Gemini表面活性剂与2-巯基乙醇在3.5%NaCl中对碳钢的缓蚀协同效应研究
《日用化学工业(中英文)》2025年第3期295-304,共10页梁鹏慧 原梦颖 阮义蕾 高国芳 胡志勇 朱海林 
山西省基础研究计划资助项目(202103021224207);中北大学研究生科技立项(20231926)。
以三聚氯氰、十二胺、乙二胺、N,N-二甲基-1,3-丙二胺、溴乙烷为原料,合成了三嗪基Gemini表面活性剂(C_(12)-2-C_(12)),并通过傅里叶变换红外光谱、核磁共振氢谱、高分辨质谱对其结构进行了表征。通过静态失重测试、电化学阻抗、动电位...
关键词：2-巯基乙醇 三嗪基Gemini表面活性剂 协同缓蚀 NACL 
苯并三氮唑与非离子型表面活性剂对铜的协同缓蚀作用研究
《电镀与涂饰》2025年第1期92-95,共4页郑沛峰 何晓桐 邓正平 朱平 田志斌 涂颖一 
国家重点研发计划(2023YFB3408200)。
[目的]探究苯并三氮唑(BTA)分别与3种非离子型表面活性剂──NP-10(壬基酚聚氧乙烯醚-10)、Tween-80(吐温-80)、AEO-9(脂肪醇聚氧乙烯醚-9)复配使用时对铜的缓蚀性能。[方法]通过浸泡腐蚀试验、硝酸点滴试验、中性盐雾试验及电化学测试...
关键词：铜 缓蚀剂 苯并三氮唑 非离子型表面活性剂 缓蚀率 耐蚀性 
三嗪基表面活性剂与钼酸钠的协同缓蚀效应
《应用化工》2024年第11期2629-2634,共6页阮义蕾 原梦颖 梁鹏慧 高国芳 胡志勇 朱海林 
山西省基础研究计划资助项目(202103021224207);中北大学研究生科技立项(20231926)。
将一种三嗪基Gemini表面活性剂(CRDE)和钼酸钠(Na_(2)MoO_(4))复配,控制缓蚀剂总浓度为0.1 mmol/L,考察不同配比的CRDE或Na_(2)MoO_(4)在3.5%NaCl溶液中对Q235碳钢的协同缓蚀作用。结果表明,静态失重结果与电化学测试结果具有较好的一致...
关键词：GEMINI表面活性剂 复配 碳钢 缓蚀剂 协同效应 
金属铝用复配缓蚀剂协同缓蚀作用研究被引量：1
《中国腐蚀与防护学报》2024年第2期312-322,共11页柳泽邦 冉博元 裴恒 罗凯林 赵智斌 韩鹏 强玉杰 
中央高校基本科研业务费专项资金(2023JCCXJD01);教育部产学合作协同育人项目(220706429013009);中国矿业大学(北京)大学生创新训练项目(202304050)。
采用理论模拟与实验分析方法,将4-巯基吡啶(4MP)、十二烷基硫酸钠(SDS)和4MP-SDS复配缓蚀剂作为金属铝缓蚀剂,对其在3.5%(质量分数)NaCl溶液中的缓蚀行为进行了研究。结果表明,加注缓蚀剂可有效降低自腐蚀电流密度,缓蚀剂加注浓度提高...
关键词：铝 腐蚀 缓蚀剂 协同效应 理论模拟 
高温酸化环境中吡啶季铵盐与锑离子的协同缓蚀作用
《油田化学》2023年第4期716-722,735,共8页李嘉 孙亚东 王虎 
吡啶季铵盐和锑盐常常作为高温酸化缓蚀剂的组分,将两者复配协同增效也常常被应用于高温酸化的缓蚀剂应用中。运用高温高压化学浸泡和电化学测试技术,研究了2-甲基吡啶季铵盐(BDJ)与不同浓度Sb_(2)O_(3)在20%HCl中对N80钢的协同缓蚀作用...
关键词：酸化缓蚀剂 吡啶季铵盐 锑离子 协同作用 
酸性氯化钠溶液中硝酸钠和硫脲对7075铝合金缝隙腐蚀的协同缓蚀作用被引量：2
《中国腐蚀与防护学报》2023年第6期1367-1374,共8页吕正平 李缘 刘晓航 崔中雨 崔洪芝 王昕 逄昆 李燚周 
国家自然科学基金(51901217)。
通过失重测量、电化学测试和扫描电镜(SEM)研究了酸性氯化钠溶液中硝酸钠(NaNO_(3))和硫脲(TU)对铝合金缝隙腐蚀行为的影响。结果表明,酸性氯化钠溶液中NaNO_(3)和TU对铝合金的腐蚀均有一定的抑制作用,二者同时存在时表现出良好的协同...
关键词：铝合金 缓蚀剂 缝隙腐蚀 协同效应 
复合缓蚀剂在软化水中对低碳钢的协同缓蚀作用被引量：3
《电镀与精饰》2023年第3期1-10,共10页康保生 齐心 齐千一 杨红健 
采用静态失重法、电化学测试和表面表征技术研究了环境友好型复合缓蚀剂对低碳钢在软化水中的缓蚀作用。结果表明,钼酸钠、硅酸钠、四硼酸钠和葡萄糖酸钠4种单组分缓蚀剂在成本和缓蚀率上都不具有优势,复合缓蚀剂的缓蚀率远高于相同剂...
关键词：复合缓蚀剂 低碳钢 软化水 缓蚀机理 
2-巯基苯并咪唑与L-半胱氨酸在HCl中对Q235钢的协同缓蚀效应被引量：2
《表面技术》2022年第10期250-259,共10页刘倩 刘金彦 王佳 种瑶 
国家自然科学基金项目(21463016)。
目的探究2-巯基苯并咪唑(MBI)、L-半胱氨酸(L-cysteine)以及两者的混合体系在1 mol/L HCl溶液中对Q235钢的缓蚀性能。方法通过静态失重法、电化学阻抗谱以及极化曲线研究MBI与L-cysteine的最佳复配条件,并借助原子力显微镜(AFM)以及X射...
关键词：缓蚀剂 协同缓蚀效应 Q235钢 2-巯基苯并咪唑 L-半胱氨酸 电化学 
几种炔醇化合物与曼尼希碱的协同缓蚀作用研究
《应用化工》2022年第6期1660-1664,共5页刘祥 朱珍珍 付宇 
陕西省科技厅工业领域一般项目(2017GY-179)。
利用量子化学方法计算了丙炔醇乙氧基化合物(PME)、3-甲基-1-戊炔-3-醇(MPA)、1,1,3-三苯基-2-丙炔醇(TPP)、羟丙基炔丙基醚(PAP)、3-甲基丁炔醇(MBA)等5种炔醇化合物的分子轨道参数,从理论上探讨了炔醇结构与缓蚀作用之间的关系;将5种...
关键词：炔醇 量子化学 协同作用 缓蚀剂 
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