协同缓蚀效应

作品数：16被引量：88H指数：6
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相关领域：金属学及工艺一般工业技术更多>>
相关作者：郭新民莫自如辛剑袁万钟陈晓东更多>>
相关机构：大连理工大学湖南大学中国科学院福建物质结构研究所陕西省石油化工研究设计院更多>>
相关期刊：《腐蚀科学与防护技术》《表面技术》《华北电力技术》《半导体技术》更多>>
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TAZ与LS-97对铜CMP协同缓蚀效应
《半导体技术》2025年第5期473-480,共8页贺斌 高宝红 霍金向 李雯浩宇 贺越 王建树 
国家自然科学基金(61704046);河北省自然科学基金(F2022202072)。
极大规模集成电路(GLSI)中多层铜互连的化学机械抛光(CMP)是推动微电子技术发展的关键工艺之一。抑制剂是实现铜晶圆表面平坦化的重要因素,而表面活性剂可以改善铜晶圆的表面质量,因此抑制剂和表面活性剂的复配使用是研究的热点。通过...
关键词：化学机械抛光(CMP) 铜 缓蚀剂 表面活性剂 复配 
三嗪基表面活性剂与钼酸钠的协同缓蚀效应
《应用化工》2024年第11期2629-2634,共6页阮义蕾 原梦颖 梁鹏慧 高国芳 胡志勇 朱海林 
山西省基础研究计划资助项目(202103021224207);中北大学研究生科技立项(20231926)。
将一种三嗪基Gemini表面活性剂(CRDE)和钼酸钠(Na_(2)MoO_(4))复配,控制缓蚀剂总浓度为0.1 mmol/L,考察不同配比的CRDE或Na_(2)MoO_(4)在3.5%NaCl溶液中对Q235碳钢的协同缓蚀作用。结果表明,静态失重结果与电化学测试结果具有较好的一致...
关键词：GEMINI表面活性剂 复配 碳钢 缓蚀剂 协同效应 
2-巯基苯并咪唑与L-半胱氨酸在HCl中对Q235钢的协同缓蚀效应被引量：2
《表面技术》2022年第10期250-259,共10页刘倩 刘金彦 王佳 种瑶 
国家自然科学基金项目(21463016)。
目的探究2-巯基苯并咪唑(MBI)、L-半胱氨酸(L-cysteine)以及两者的混合体系在1 mol/L HCl溶液中对Q235钢的缓蚀性能。方法通过静态失重法、电化学阻抗谱以及极化曲线研究MBI与L-cysteine的最佳复配条件,并借助原子力显微镜(AFM)以及X射...
关键词：缓蚀剂 协同缓蚀效应 Q235钢 2-巯基苯并咪唑 L-半胱氨酸 电化学 
金属阳离子与表面活性剂协同缓蚀效应研究进展被引量：2
《清洗世界》2017年第10期26-30,共5页黄玲 石磊 龚盛昭 
表面活性剂是一种用途广泛的重要化工产品,同时也是一类金属缓蚀剂材料。概要地介绍表面活性剂的缓蚀机理,重点探讨金属离子与阴离子、阳离子、非离子表面活性剂的协同缓蚀效果和缓蚀机理,最后指明后续缓蚀研究的发展趋势。
关键词：协同缓蚀 表面活性剂 金属阳离子 
硫脲和I^-对碳钢在酸洗液中的协同缓蚀作用被引量：6
《材料保护》2017年第5期71-74,共4页刘栓 郑文茹 程红红 崔明君 郭小平 周开河 方云辉 蒲吉斌 王立平 
国家自然科学基金(41506098);中国博士后基金和第九批特等资助(2015M580528;2016T90553);浙江省博士后科研项目择优资助(BSH1502160);宁波市自然科学基金(2016A610261)
目前,鲜见硫脲与I^-的复配技术及其在酸洗液中对碳钢缓蚀性能的报道。采用失重法、开路电位、电化学交流阻抗谱和动电位极化曲线,研究了硫脲和I^-在硫酸洗液中对碳钢的协同缓蚀效应,并采用扫描电镜对碳钢腐蚀前后的腐蚀形貌进行表征。...
关键词：硫脲 I- 碳钢 协同缓蚀效应 
苯并三氮唑及其衍生物对铜的协同缓蚀效应被引量：1
《电镀与涂饰》2011年第11期46-49,共4页张景玲 张新玲 周海晖 刘高琴 旷亚非 
以苯并三氮唑(BTA)和溴代正丁烷为原料,采用一步法合成了N-丁基苯并三氮唑(N-BBTA),研究了BTA、N-BBTA以及N-BBTA与BTA的复配体系对铜在3%(质量分数)NaCl溶液中的缓蚀行为。结果表明,单一N-BBTA和BTA对铜均具有一定的缓蚀能力。当N-BBTA...
关键词：铜 苯并三氮唑 肛丁基苯并三氦唑 缓蚀剂 协同效应 
钼酸盐缓蚀剂研究进展及发展趋势被引量：17
《山东化工》2008年第11期17-19,26,共4页房娟娟 许斌 
从钼酸盐的缓蚀机理、与其他缓蚀剂的协同缓蚀效应等方面,综述了国内外钼酸盐缓蚀剂的研究进展,并展望了钼酸盐缓蚀剂今后的研究方向。
关键词：钼酸盐 缓蚀机理 协同缓蚀效应 缓蚀剂 
钨酸盐与苯并三唑对X70钢协同缓蚀作用的研究被引量：6
《腐蚀与防护》2006年第9期454-456,共3页张付宝 余晓鹏 潘献晓 肖亦 李容 蔡铎昌 
四川省科技厅重点项目(04jy029-100)
应用动电位扫描法和电化学阻抗法研究了钨酸盐和苯并三唑(BTA)在氯化钠介质中对X70钢的协同缓蚀作用。结果表明:X70钢在0.03%的NaCl溶液中的腐蚀为混合控制过程。Na2WO4.2H2O和苯并三唑均为阳极型缓蚀剂。在保持缓蚀剂总浓度为2×10-3mo...
关键词：钨酸钠 苯并三唑 X70钢 协同缓蚀效应 
钨酸盐与乌洛托品对碳钢协同缓蚀作用的研究被引量：8
《华北电力技术》2004年第3期3-5,共3页周琼花 杨道武 朱志平 周艺 冯改宁 
湖南省自然科学基金项目 (0 110 5 0 0 2 0 14 4)
应用电化学交流阻抗法研究了钨酸盐、乌洛托品在氯化钠介质中对碳钢的协同缓蚀作用。结果表明 :90 %钨酸钠 + 1 0 %乌洛托品在氯化钠介质中对碳钢具有明显的协同缓蚀效应 ;且随着总浓度增大 ,缓蚀效率提高 ;
关键词：金属腐蚀 交流阻抗法 钨酸盐 乌洛托品 碳钢 协同缓蚀效应 钝化型缓蚀剂 
钼酸盐与其他缓蚀剂协同缓蚀效应的研究被引量：20
《上海化工》2003年第7期23-25,共3页王瑛 柴明成 王宇友 
简要介绍了钼酸盐缓蚀剂的缓蚀机理,并对钼酸盐与其他缓蚀剂协同缓蚀效应的研究作了综述。
关键词：钼酸盐 缓蚀剂 协同缓蚀效应 缓蚀机理 开发研究 
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