谐振传感器

作品数：47被引量：102H指数：6
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微机械谐振传感器的闭环恒幅驱动电路研究被引量：10
《仪器仪表学报》1999年第4期351-355,共5页王亚强 王跃林 丁纯 喻浩 
曹光彪基金
本文分析了微机械谐振传感器的闭环工作特性，在此基础上研究了微机械谐振传感器的闭环恒幅驱动电路的设计原则，研制出闭环恒幅驱动电路，并在微谐振式真空传感器和双框架微谐振陀螺上得到应用。
关键词：微机械 闭环恒幅驱动 传感器 微谐振式 
利用微机械技术的谐振器及集成光学传感器研究
《仪器仪表学报》1995年第S1期331-335,共5页王跃林 金仲和 丁纯 徐义刚 
国家重点自然科学基金;霍英东青年教师基金
本文以硅微机械技术为基础研究了微谐振器和集成光学传感器。讨论了不同激励与检测方式下的谐振器的理论、工艺及其性能。并研究了以硅脊形波导为基础制作集成光学传感器的理论与工艺问题。
关键词：集成光学 微谐振器 微机械技术 激励电压 悬臂梁 品质因素 硅微机械 谐振传感器 脊形波导 加热电阻 
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