谐振梁

作品数：37被引量：71H指数：5
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相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
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相关机构：北京航空航天大学西安交通大学东南大学中国科学院电子学研究所更多>>
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用于大气数据系统的硅谐振压力传感器被引量：1
《传感器与微系统》2023年第3期160-163,共4页胡宗达 彭鹏 李奇思 杨劼立 苏晓晓 
设计了一种用于机载大气数据系统的高精度微机电系统(MEMS)硅谐振压力传感器。采用了多层硅—硅键合技术、阳极键合技术以获得高稳定性的频率信号输出和圆片级真空封装,其具有高精度、高Q值的特点。芯片采用复合谐振梁—膜—硅岛结构作...
关键词：硅谐振压力传感器 复合谐振梁—膜—硅岛结构 高精度 微机电系统 
基于MEMS陀螺仪谐振梁的不确定度分析被引量：1
《传感器与微系统》2022年第12期139-142,共4页李敏 曹乐 
国家自然科学基金资助项目(61703270)。
基于一种微机电系统(MEMS)陀螺仪谐振梁的振动模型,通过采用不确定度分析方法,分析了非线性振动系统下结构参数对等效固有频率的影响。建立基于样本的随机采样模型,将谐振梁的结构尺寸确定为模型的输入参数,采用蒙特卡洛采样方法对输入...
关键词：微机电系统陀螺仪 不确定度分析 谐振梁 结构参数 随机模型 
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