离子能量

作品数：94被引量：138H指数：6
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双极高功率脉冲磁控溅射技术薄膜制备研究进展被引量：2
《中国表面工程》2022年第5期10-22,共13页朱祥瑞 韩明月 冯蓬勃 孙玉强 李刘合 
国家重大专项资助项目(2017-VII-0012-0108,2017-VII-0003-0096)
双极高功率脉冲磁控溅射技术(BP-HiPIMS)在保持靶材粒子高离化率的同时,通过调节“泵出”脉冲电压,控制离子能量和流量,从而改善薄膜的性能,正在得到工业界的广泛关注。在无法施加基体偏压的绝缘基体或薄膜的制备上,BP-HiPIMS拥有更加...
关键词：HIPIMS BP-HiPIMS 双极脉冲 离子能量 薄膜制备 
轰击离子能量对V2AlC MAX相涂层结构及力学性能的影响被引量：2
《中国表面工程》2019年第3期80-87,共8页赵公澍 葛芳芳 程晓英 黄峰 
国防科技工业核动力技术创新中心(HDLCXZX-2018-ZH-038)~~
采用物理气相沉积(PVD)磁控溅射沉积方法,通过改变轰击离子能量制备高密度的V2AlC涂层,并探究不同轰击离子能量对涂层结构和性能的影响。利用能谱仪测试、X射线衍射、拉曼光谱、扫描电镜、原子力显微镜对涂层的化学组成、相结构、表面...
关键词：离子辅助 MAX相涂层 磁控溅射 微观结构 力学性能 
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