离子束蚀刻

作品数：20被引量：16H指数：3
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提高抗激光烧蚀能力的表面尖形微结构器件被引量：1
《微细加工技术》2001年第2期67-70,共4页张新宇 汤庆乐 张智 裴先登 
2000年中国博士后科学基金资助项目;湖北省自然科学基金资助项目!(2 0 0 0JI50 )
讨论了光刻热熔成形工艺灰度掩模技术结合离子束蚀刻制作面阵尖形微结构器件的问题 ,分析了几种凸尖及凹尖结构抗入射激光烧蚀的能力强于平面端面同质器件的原因 ,所作的若干分析结果可用于这类器件的实际制作和应用。
关键词：尖形微结构 离子束蚀刻 抗激光烧蚀 能力 微结构器件 
非梯度折射率型面阵平面微透镜
《微细加工技术》2001年第2期76-80,共5页张新宇 汤庆乐 张智 裴先登 
2000年中国博士后科学基金资助项目;湖北省自然科学基金资助项目! (2 0 0 0J150 )
采用常规的光刻热熔法及灰度掩模技术 ,结合离子束蚀刻与溅射制作面阵非梯度折射率型平面折射和平面衍射微透镜 ,定性分析了不同的工艺条件下所得到的平面端面微光学器件的种类和形貌特征 ,给出了在石英衬底表面通过光刻热熔工艺和氩离...
关键词：非梯度折射率 平面微透镜阵列 离子束蚀刻 溅射 光刻 
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