立体光刻

作品数：86被引量：332H指数：8
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投影微立体光刻技术在微流控芯片领域的研究进展被引量：1
《微纳电子技术》2024年第4期26-37,共12页姜丁瑞 张栩源 靳聪 柏寒之 厉婉琪 张彩勤 陈翔 
国家自然科学基金(82103052)。
对投影微立体光刻(PμSL)技术在微流控芯片领域的优势进行了简要概述,介绍了其技术原理以及数字微镜设备(DMD)的工作机制。分析了影响PμSL技术提高XY平面和Z轴打印分辨率的因素,重点讨论了通过优化光学系统、树脂配方、打印方式及图像...
关键词：投影微立体光刻(PμSL)技术 微流控技术 高精度打印 多材料打印 器官芯片 
IH工艺的发展及应用被引量：5
《微纳电子技术》2003年第11期34-39,共6页孔祥东 张玉林 尹明 
2003年山东省科学计划项目
介绍了IH系列立体光刻技术。使用该系列技术可以加工出具有高深宽比和复杂曲面的各种微结构,可以容易地加工出微可动部件、电子聚合物组合结构和不同聚合物的全聚合物结构,能较好地满足MEMS发展的需要。最后指出这种方法目前存在的缺陷。
关键词：IH工艺 立体光刻 抗蚀剂 聚合物结构 微机电系统 集成固化聚合物 
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