镀膜工艺

作品数：180被引量：259H指数：9
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磁控溅射镀膜的原理与故障分析被引量：23
《电子工业专用设备》2013年第6期57-60,共4页郝晓亮 
介绍了磁控溅射镀膜的种类及特点。以直流磁控溅射为例,介绍了其结构、原理,分析了影响磁控溅射工艺稳定性的因素。最后总结了磁控溅射镀膜工艺中常见的故障以及解决方法。
关键词：物理气象淀积 磁控溅射 故障分析 镀膜工艺 
真空磁控溅射镀膜设备及工艺技术研究被引量：13
《电子工业专用设备》2009年第11期27-31,共5页程建平 杨晓东 
磁控溅射技术在薄膜制备领域广泛应用,适合的工艺和制造技术对磁控溅射镀膜有着重要的影响。介绍了用于薄膜电路的生产工艺流程以及由此而决定的设备组成及控制技术,并重点叙述了薄膜制备的方法、参数选择、设备设计方法。
关键词：磁控溅射 镀膜工艺 设备 
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