杨晓东

作品数:7被引量:19H指数:2
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供职机构:中国电子科技集团公司第二研究所更多>>
发文主题:工控机可编程控制器退火磁控溅射镀膜工艺更多>>
发文领域:自动化与计算机技术电子电信一般工业技术动力工程及工程热物理更多>>
发文期刊:《真空》《物流工程与管理》《电子工业专用设备》更多>>
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超大型试验舱舱门锁紧件优化设计
《真空》2016年第3期44-47,共4页王成君 杨晓东 郭华锋 王永卿 
试验舱在航空、航天、材料等领域具有广泛的应用,由于试验舱设备较大,需要采用大型液压锁紧机构来开关舱门。本文根据理论计算和实际工况的需求,设计了舱门的液压锁紧机构,结合使用情况,校核了锁紧件的接触强度;然后应用solidworks的有...
关键词:试验舱 优化设计 真空 舱门锁紧件 
组件热真空试验设备控制系统研究被引量:2
《电子工业专用设备》2015年第6期51-54,共4页杨晓东 
对热真空试验设备控制系统进行了分析和研究,探讨了通过热沉、传感器的结构设计,以及加热、制冷功能的控制方法。
关键词:真空实验设备 热沉 串级控制 温度 加热 制冷 
重力热管自动退火除气线及其控制系统设计
《电子工业专用设备》2014年第8期54-58,共5页杨晓东 廖正贵 王成君 
重力热管自动连续退火除气线是针对太阳能重力热管热处理工艺开发的专用设备,控制系统的设计对设备的稳定运行有着重要的影响。基于嵌入式一体化工控机和PLC的自动退火线电气自动控制系统的硬件构成、软件系统、设计思路及方法,重点叙...
关键词:可编程控制器 工控机 退火 
辊筒输送机在连续式真空炉中的应用
《物流工程与管理》2014年第7期274-275,共2页廖正贵 杨晓东 
重力热管自动连续退火除气线是针对太阳能重力热管热处理工艺开发的专用设备,该型设备是一种全自动运行的连续式真空炉。文中介绍了辊筒输送机的类型及其在连续式真空炉设计过程中的选型考虑因素,给出了辊筒输送机在连续式真空炉应用中...
关键词:辊筒 连续式真空炉 退火 
真空磁控溅射镀膜设备及工艺技术研究被引量:13
《电子工业专用设备》2009年第11期27-31,共5页程建平 杨晓东 
磁控溅射技术在薄膜制备领域广泛应用,适合的工艺和制造技术对磁控溅射镀膜有着重要的影响。介绍了用于薄膜电路的生产工艺流程以及由此而决定的设备组成及控制技术,并重点叙述了薄膜制备的方法、参数选择、设备设计方法。
关键词:磁控溅射 镀膜工艺 设备 
MCM基板钎焊设备
《科技情报开发与经济》2009年第31期125-127,共3页周社柱 王永卿 杨晓东 杨永虎 
MCM技术的出现极大地推动了现代微电子技术的发展,集成电路正朝着大规模、高密度、多功能、小尺寸的方向发展。MCM基板作为MCM的最基础也是最重要的组成单元,直接决定了整个集成电路的电参数和功能特点。面对传统MCM基板生产设备的缺陷...
关键词:钎焊设备 真空度 温度偏差 空洞率 
基于工控机和PLC的真空磁控溅射镀膜设备控制系统设计被引量:6
《科技情报开发与经济》2009年第31期117-120,共4页杨晓东 柳森娟 刘锋敏 
电子预研项目(项目编号:62501070501)的研究成果之一
磁控溅射镀膜技术在薄膜制备领域广泛应用,控制系统的设计对磁控溅射镀膜设备的稳定运行有着重要的影响。介绍了基于嵌入式一体化工控机和PLC的真空磁控溅射镀膜设备电气自动控制系统的硬件构成、系统原理、系统功能,论述了其设计思路...
关键词:磁控溅射镀膜技术 可编程控制器 工控机 
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