流程工业自动化

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相关机构：东北师范大学中国仪器仪表行业协会《PROCESS》编辑部上海交通大学更多>>
相关期刊：《上海交通大学学报》《电子技术应用》《今日电子》《中国制造业信息化（应用版）》更多>>
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MEMS微电子机械系统与流程工业自动化
《中国仪器仪表》2009年第7期29-31,41,共4页卞正岗 
1引言在20世纪80年代，随着美国借助半导体集成电路制造技术研制成功微米级的硅微型静电电机而形成了微机械领域。这期间德国卡尔斯鲁厄原子核物理研究中心发明了LIGA技术（LIGA，Lithographie Galvanofomung Abfomung），并制作出微加...
关键词：微电子机械系统 流程工业自动化 MEMS 半导体集成电路 LIGA技术 制造技术 原子核物理 微光学元件 
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