流动图形缺陷

作品数：9被引量：13H指数：2
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相关领域：电子电信更多>>
相关作者：刘彩池郝秋艳乔治张建峰周旗钢更多>>
相关机构：河北工业大学北京有色金属研究总院天津大学浙江大学更多>>
相关期刊：《材料科学与工程学报》《半导体技术》《稀有金属》《物理学报》更多>>
相关基金：国家自然科学基金河北省自然科学基金天津市自然科学基金河北省教育厅科研基金更多>>
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快速预热处理对大直径CZ-Si中FPDs及清洁区的影响被引量：1
《Journal of Semiconductors》2006年第1期73-77,共5页张建强 刘彩池 周旗钢 王敬 郝秋艳 孙世龙 赵丽伟 滕晓云 
国家自然科学基金(批准号:60076001;50032010);天津市自然科学基金;河北省自然科学基金资助项目~~
研究了不同气氛下快速预热处理(RTA)后,硅片中的流动图形缺陷(FPDs)密度和随后两步热处理形成的魔幻清洁区(MDZ)之间的关系.硅片经过高温快速预热处理后,再经过800℃(4h)+1000℃(16h)常规退火,以形成MDZ.研究发现,当硅片在Ar气氛或N2/O2...
关键词：CZSI 空洞型微缺陷 流动图形缺陷 快速热处理 MDZ 
直拉硅单晶中的流动图形缺陷被引量：2
《Journal of Semiconductors》2004年第1期60-63,共4页刘彩池 乔治 周旗钢 王敬 郝秋艳 张建峰 李养贤 任丙彦 
国家自然科学基金 (批准号 :60 0 760 0 1;5 0 0 3 2 0 10 );河北省自然科学基金资助项目~~
用 Secco腐蚀液对直径 15 0 mm p型 (10 0 )直拉硅单晶片进行择优腐蚀后 ,得到了流动图形缺陷 (FPDs) ,并通过原子力显微镜 (AFM)对其微观结构进行观察 .实验发现 ,在 FPDs缺陷的尖端存在有几百纳米的由 (111)面构成的八面体空洞 ,这与 ...
关键词：直拉硅单晶 FPDS 空洞 原子力显微镜 
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