脉冲偏压

作品数：113被引量：371H指数：10
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脉冲偏压和氮气分压对多弧离子镀(Zr,Cr)N薄膜结构和性能的影响
《天津师范大学学报（自然科学版）》2024年第5期11-17,共7页郭圆萌 孙艳 吴兴华 黄美东 
天津市研究生科研创新项目(2022SKYZ156)。
为探究基体脉冲偏压和氮气分压对(Zr,Cr)N薄膜性能的影响,采用多弧离子镀技术沉积薄膜样品,并利用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X射线衍射仪、摩擦实验仪和表面性能实验仪对(Zr,Cr)N薄膜样品的表面形貌、物相结构、力学性能和浸润性...
关键词：多弧离子镀 氮气分压 脉冲偏压 疏水性 摩擦磨损 
脉冲偏压占空比对电弧离子镀AlCrSiN涂层结构和性能的影响被引量：1
《天津职业技术师范大学学报》2024年第1期1-7,共7页白乌力吉 刘艳梅 张蕊 王重阳 许梦娇 尹霜 王铁钢 
天津市多元投入基金重点项目(22JCZDJC00670);天津市教委科研计划重点项目(2022ZD020).
为优化电弧离子镀AlCrSiN涂层的制备工艺,获得最佳的脉冲偏压占空比,采用全自动脉冲电弧离子镀技术,在不同脉冲偏压占空比下分别制备AlCrSiN涂层,利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、划痕仪、球-盘式摩擦磨损试验机等对涂层物...
关键词：全自动电弧离子镀 AlCrSiN涂层 脉冲偏压占空比 微观结构 力学性能 摩擦性能 
脉冲偏压占空比对TiCrN薄膜微观结构和性能的影响规律被引量：1
《中国表面工程》2023年第6期57-67,共11页魏永强 顾艳阳 范梦圆 杨佳乐 张华森 张晓晓 钟素娟 廖志谦 
国家自然科学基金(51401182);中国国家留学基金(CSC202108410274);河南省科技攻关计划(222102220066);河南省高层次人才国际化培养和郑州航空工业管理学院科研团队(23ZHTD01010)资助项目。
随着先进制造领域对高速钢材料切削性能和加工性能的要求越来越高,迫切需要利用氮化物薄膜来提高基体材料的硬度和耐磨性等综合性能,延长高速钢材料的使用寿命。通过TiCrN薄膜提升高速钢材料的使役性能,研究脉冲偏压占空比对TiCrN薄膜...
关键词：电弧离子镀 脉冲偏压占空比 TiCrN薄膜 纳米硬度 耐蚀性 摩擦因数 
脉冲偏压占空比对TiSiN薄膜结构和性能的影响被引量：1
《金属热处理》2022年第8期279-286,共8页魏永强 顾艳阳 赵重轻 蒋志强 
国家自然科学基金(51401182);河南省科技攻关项目(222102220066);河南省教育厅自然科学重点项目(22B430030)。
采用电弧离子镀方法,通过改变脉冲偏压占空比在M2高速钢和单晶硅片基体上沉积TiSiN薄膜,研究脉冲偏压占空比对TiSiN薄膜形貌结构、元素成分、相结构、纳米硬度和耐蚀性能的影响。脉冲偏压占空比为30%时,TiSiN薄膜表面的大颗粒数目达到...
关键词：电弧离子镀 TiSiN薄膜 占空比 纳米硬度 耐蚀性 
脉冲技术在离子镀膜中的应用机理和展望
《真空科学与技术学报》2022年第4期244-255,共12页曹时义 代伟 王俊锋 
脉冲电源技术因在等离子体镀膜中表现出增强离化、强附着、高效沉积和涂层光滑致密等特性而日益应用广泛。本文简述了脉冲电源技术在引弧、弧源和基体偏压等镀膜应用,从等离子体产生、传输过程及粒子沉积等全局出发,阐述了脉冲参数与弧...
关键词：脉冲技术 真空镀膜 脉冲偏压 离化 工艺控制 
脉冲偏压频率对TiSiN/TiAlN纳米多层膜结构和性能的影响规律被引量：2
《表面技术》2021年第12期311-319,共9页魏永强 游业豪 蒋志强 
国家自然科学基金(51401182);航空科学基金(2016ZE55013);河南省高等学校重点科研项目指导计划(22B430030)。
目的研究脉冲偏压频率对Ti SiN/TiAlN纳米多层薄膜结构和性能的影响,优化工艺参数,以提高薄膜的性能。方法采用脉冲偏压电弧离子镀,在M2高速钢和单晶硅基底上以不同脉冲偏压频率沉积Ti SiN/TiAlN纳米多层薄膜,采用扫描电子显微镜(SEM)...
关键词：电弧离子镀 纳米多层膜 TiSiN/TiAlN 脉冲偏压频率 纳米硬度 
脉冲偏压频率对TiSiN薄膜的微观结构和性能的影响被引量：1
《金属热处理》2021年第11期213-220,共8页魏永强 宋如蕃 蒋志强 
国家自然科学基金(51401182);河南省高等学校重点科研项目指导计划(22B430030)。
采用脉冲偏压电弧离子镀技术,通过改变脉冲偏压频率在M2高速钢基体上沉积TiSiN薄膜,利用扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)等仪器,研究脉冲偏压频率对TiSiN薄膜的表面和截面形貌、元素成分、相结构的影响,并通过纳米压痕仪...
关键词：电弧离子镀 TiSiN薄膜 脉冲偏压频率 纳米硬度 耐蚀性 
脉冲偏压占空比对电弧离子镀TiAlN涂层的影响被引量：9
《稀有金属材料与工程》2018年第11期3482-3486,共5页付志强 苗志玲 岳文 王成彪 康嘉杰 朱丽娜 彭志坚 
国家自然科学基金(51275494);中央高校基本科研业务费专项资金(2652015084)
通过优化电弧离子镀工艺参数改善TiAlN涂层结构及性能对TiAlN涂层应用具有重要的实用价值。本研究利用脉冲偏压电弧离子镀制备了TiAlN涂层,研究了偏压占空比对TiAlN涂层结构及性能的影响,结果发现:随着占空比增加,涂层表面缺陷密度和表...
关键词：电弧离子镀 脉冲偏压 占空比 TIALN涂层 
基体脉冲偏压对TiN/Cu纳米复合薄膜组织结构、力学及耐磨性能的影响（英文）被引量：3
《稀有金属材料与工程》2018年第11期3284-3288,共5页赵彦辉 赵升升 任玲 V.V.Denisov N.N.Koval 杨柯 于宝海 
National Natural Science Foundation of China(51401128)
采用轴向磁场增强电弧离子镀在高速钢基体上沉积了Ti N/Cu纳米复合薄膜,研究了基体脉冲偏压幅值对薄膜成分、结构、力学性能及耐磨性能的影响。结果表明,薄膜中铜含量随着脉冲偏压幅值的增加先增加而后降低,在一个较低的范围内(1.3 at%...
关键词：电弧离子镀 磁场:脉冲偏压 显微结构 力学性能 
钛合金过渡层对燃料电池不锈钢双极板表面改性薄膜综合性能的影响被引量：8
《真空科学与技术学报》2018年第11期972-979,共8页王明超 林国强 莫亚杰 吴爱民 郝凯歌 董闯 
国家重点研发计划课题(No.2016YFB0101206)
针对在燃料电池不锈钢双极板电堆上应用的Cr0. 23C0. 77非晶改性薄膜使用寿命低的问题,仍然采用脉冲偏压电弧离子镀技术,在Cr0. 23C0. 77薄膜与316L不锈钢基体之间增加制备一层耐点蚀钛合金过渡层,考察过渡层对改性薄膜表面综合性能的...
关键词：膜燃料电池金属双极板 脉冲偏压电弧离子镀 钛合金过渡层 耐蚀性能 导电性能 疏水性能 
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