对向靶溅射

作品数：21被引量：12H指数：2
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掺杂Ti对Fe－N薄膜结构与磁性的影响
《金属学报》1996年第11期1199-1203,共5页王合英 姜恩永 白海力 吴萍 刘明升 
国家自然科学基金;中关村联合测试基金;天津市21世纪青年科学基金
用对向靶溅射仪制备出含多量Ｆｅ（１６）Ｎ２相的（Ｆｅ，Ｔｉ）－Ｎ薄膜，研究了掺杂Ｔｉ对Ｆｅ－Ｎ薄膜结构与磁性的影响，在溅射Ｆｅ－Ｎ薄膜时加入适量的Ｔｉ可提高Ｆｅ－Ｎ薄膜中Ｆｅ（１６）Ｎ２相的含量．Ｔｉ含量（原子分数）...
关键词：对向靶溅射 掺杂 磁性 薄膜 钛 
对向靶溅射TiN薄膜的结构和物性
《金属学报》1995年第1期B031-B034,共4页刘裕光 姜恩永 程启 孙长庆 
利用对向靶溅射（ＦＴＳ）沉积出（１１１）择优取向的单相ＴｉＮ膜，膜硬度（ＨＶ）最高可达３８００，择优取向随基板偏压增高，可由（１１１）转向（２００），晶格常数随氮气分压增高而增大，这是氮原子进入四面体间隙引起的。
关键词：薄膜 溅射 织构系数 氮化钛 
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