对向靶溅射

作品数：21被引量：12H指数：2
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对向靶溅射制备CN膜的键态被引量：2
《材料研究学报》1999年第5期549-551,共3页王怡 姜恩永 白海力 吴萍 
使用对向靶溅射系统制备ＣＮ 膜． 研究了膜的结构和Ｃ与Ｎ 之间的键态．膜为非晶结构，Ｎ／Ｃ随Ｎ２ 分压增大而增大，Ｎ 与Ｃ的键合优先形成Ｎｓｐ２Ｃ，Ｎｓｐ３Ｃ的含量随Ｎ／Ｃ上升而增大．Ｎ 含量进一步增大时， 出现新的键...
关键词：对向靶溅射 CN膜 键态 
氮化铁梯度薄膜的制备被引量：3
《材料研究学报》1995年第1期50-54,共5页姜恩永 刘晖 刘明升 林川 孙多春 
国家自然科学基金
用对向靶溅射仪制备了具有梯度结构的氮化铁薄膜材料．卢瑟福背散射分析结果表明，铁、氮两种原子的密度沿膜厚度方向呈梯度变化．在薄膜中有ζ－Ｆｅ２Ｎ，ε－ＦｅｘＮ（２＜ｘ＜３），γ′－Ｆｅ４Ｎ和α″－Ｆｅ１６Ｎ２等物相．振...
关键词：对向靶溅射 氮化铁薄膜 梯度薄膜 卢瑟福背散射 
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