对向靶溅射

作品数：21被引量：12H指数：2
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对向靶反应溅射制备AlN薄膜的结构及物性被引量：3
《广西大学学报（自然科学版）》1998年第2期131-134,共4页吴世伟 曾令民 张丽萍 覃文 
用对向靶反应溅射制备的AIN薄膜(Si(100)基片),高气压为(100)取向,低气压下为(002)取向,精确测量XRD衍射峰位可看出AIN薄膜有较大应力.由AIN(100)取向薄膜XPS分析结果可知,AI2P和N1S的结合能分别为73.7eV和396.7eV.对硬度的测量发现AIN...
关键词：对向靶溅射 薄膜 制备 X光衍射 氨化铝 物性 
对向靶溅射TiN薄膜的结构和物性
《金属学报》1995年第1期B031-B034,共4页刘裕光 姜恩永 程启 孙长庆 
利用对向靶溅射（ＦＴＳ）沉积出（１１１）择优取向的单相ＴｉＮ膜，膜硬度（ＨＶ）最高可达３８００，择优取向随基板偏压增高，可由（１１１）转向（２００），晶格常数随氮气分压增高而增大，这是氮原子进入四面体间隙引起的。
关键词：薄膜 溅射 织构系数 氮化钛 
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