纳米SI晶粒

作品数：21被引量：44H指数：4
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外加氦气流下脉冲激光沉积制备纳米硅晶粒成核区宽度的计算被引量：1
《中国激光》2011年第10期145-149,共5页邓泽超 罗青山 丁学成 褚立志 梁伟华 陈金忠 傅广生 王英龙 
国家973计划前期研究专项(2011CB612305);河北省自然科学基金(E2008000631;E2011201134);河北省教育厅基金(2009308)资助课题
在室温、10 Pa氦气氛围中,采用脉冲激光沉积(PLD)技术,通过在烧蚀羽辉正上方距靶面不同位置垂直引入一束氦气流,在烧蚀点正下方与烧蚀羽辉轴线平行放置的衬底上沉积了一系列纳米Si晶薄膜。扫描电子显微镜(SEM)、拉曼(Raman)散射光谱和X...
关键词：薄膜 纳米SI晶粒 成核区宽度 脉冲激光沉积 外加气流 类平抛运动 
调整靶衬间距实现纳米Si晶粒尺寸的均匀可控被引量：8
《中国激光》2009年第4期989-992,共4页王英龙 褚立志 邓泽超 闫常瑜 傅广生 
国家自然科学基金(10774036);河北省自然科学基金(E2005000129;E2008000631);河北省教育厅(Z2007222)资助项目
采用脉冲激光烧蚀装置,在10 Pa的氩气环境下,在1～6 cm范围内调整衬底与靶的距离沉积制备了纳米Si薄膜。X射线衍射(XRD)谱和Raman谱测量均证实,纳米Si晶粒已经形成;利用扫描电子显微镜(SEM)观测了所形成的纳米Si薄膜的表面形貌。结果表...
关键词：薄膜 纳米SI晶粒 脉冲激光烧蚀 MONTE CARLO模拟 振荡稳定时间 
激光烧蚀制备按尺寸自然分离的纳米Si晶粒被引量：5
《中国激光》2007年第4期555-558,共4页褚立志 卢丽芳 王英龙 傅广生 
河北省自然科学基金(E2005000129)资助项目
提出了一种将激光烧蚀制备的纳米Si晶粒按尺寸大小进行分离的新方法。在10 Pa高纯环境气体Ar下,采用波长为308 nm的XeCl准分子激光器,固定激光单脉冲能量密度为3 J/cm2,激光烧蚀电阻率为3000Ω.cm的高纯单晶Si靶,在等离子羽轴线正下方2....
关键词：薄膜 纳米SI晶粒 激光烧蚀 平均尺寸 
激光脉冲频率对纳米Si晶薄膜形貌的影响被引量：8
《中国激光》2005年第9期1254-1257,共4页傅广生 褚立志 周阳 闫常瑜 武德起 王英龙 彭英才 
河北省自然科学基金(500084;503125;E2005000129)资助项目
在气压为10 Pa的惰性气体Ar环境下,采用XeCl准分子激光器(波长308 nm),调整激光单脉冲能量密度为4 J/cm2,激光烧蚀电阻率为3000Ω.cm的高纯单晶Si靶,在玻璃或Si衬底上沉积制备了纳米Si晶薄膜。实验中靶和衬底间距离保持为3 cm,对衬底既...
关键词：薄膜 纳米SI晶粒 激光烧蚀 脉冲频率 形貌 
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