闫常瑜

作品数：5被引量：27H指数：3
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供职机构：河北大学物理科学与技术学院更多>>
发文主题：脉冲激光烧蚀纳米SI晶粒纳米SI薄膜形貌激光烧蚀更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《中国激光》《物理学报》《河北大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：河北省自然科学基金河北省科技攻关计划博士科研启动基金国家自然科学基金更多>>
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调整靶衬间距实现纳米Si晶粒尺寸的均匀可控被引量：8
《中国激光》2009年第4期989-992,共4页王英龙 褚立志 邓泽超 闫常瑜 傅广生 
国家自然科学基金(10774036);河北省自然科学基金(E2005000129;E2008000631);河北省教育厅(Z2007222)资助项目
采用脉冲激光烧蚀装置,在10 Pa的氩气环境下,在1～6 cm范围内调整衬底与靶的距离沉积制备了纳米Si薄膜。X射线衍射(XRD)谱和Raman谱测量均证实,纳米Si晶粒已经形成;利用扫描电子显微镜(SEM)观测了所形成的纳米Si薄膜的表面形貌。结果表...
关键词：薄膜 纳米SI晶粒 脉冲激光烧蚀 MONTE CARLO模拟 振荡稳定时间 
激光脉冲频率对纳米Si晶薄膜形貌的影响被引量：8
《中国激光》2005年第9期1254-1257,共4页傅广生 褚立志 周阳 闫常瑜 武德起 王英龙 彭英才 
河北省自然科学基金(500084;503125;E2005000129)资助项目
在气压为10 Pa的惰性气体Ar环境下,采用XeCl准分子激光器(波长308 nm),调整激光单脉冲能量密度为4 J/cm2,激光烧蚀电阻率为3000Ω.cm的高纯单晶Si靶,在玻璃或Si衬底上沉积制备了纳米Si晶薄膜。实验中靶和衬底间距离保持为3 cm,对衬底既...
关键词：薄膜 纳米SI晶粒 激光烧蚀 脉冲频率 形貌 
具有窄光致发光谱的纳米Si晶薄膜的激光烧蚀制备被引量：5
《物理学报》2005年第12期5738-5742,共5页王英龙 卢丽芳 闫常瑜 褚立志 周阳 傅广生 彭英才 
河北省自然科学基金(批准号:E2005000129;500084)资助的课题.~~
采用XeCl脉冲准分子激光器,在10Pa的Ar气环境下,烧蚀高阻单晶Si靶,分别在距靶3cm的玻璃和单晶Si衬底上制备了纳米Si薄膜.相应的Raman谱和x射线衍射谱均证实了薄膜中纳米Si晶粒的形成.扫描电子显微镜图像显示,所形成的薄膜呈均匀的纳米S...
关键词：纳米SI晶粒 脉冲激光烧蚀 薄膜形貌 光致发光 
铁电薄膜及铁电存储器研究被引量：7
《河北大学学报（自然科学版）》2005年第2期225-230,共6页武德起 刘保亭 闫正 闫常瑜 赵庆勋 
河北省自然科学基金项目(E2005000130);河北省科技攻关项目(04213579);河北大学人才引进博士基金项目(B0406030);国家人事部留学人员择优资助项目
综述了铁电薄膜以及铁电存储器的发展,讨论了铁电薄膜制备方法、结构和物理性能表征,并结合作者的前期工作,详细讨论了用于铁电薄膜与硅衬底集成的导电阻挡层问题,指出了铁电薄膜研究中需重点解决的一些问题.
关键词：铁电薄膜 集成铁电体 铁电存储器 
氩环境气压对激光烧蚀沉积纳米硅薄膜形貌的影响
《河北大学学报（自然科学版）》2005年第1期29-32,共4页闫常瑜 周阳 褚立志 武德起 王晓菲 王英龙 
河北省自然科学基金资助项目(500084;503125)
采用脉冲激光烧蚀技术在氩气环境下制备了纳米硅薄膜,研究了环境气体压强对纳米硅薄膜表面形貌的影响.结果表明,当环境气压小于50Pa时,薄膜表现为常规的量子点镶嵌结构;当环境气压大于50Pa时,薄膜中出现类网状的絮结构,继续增大氩气压,...
关键词：脉冲激光烧蚀 纳米硅 形貌 
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