薄膜形貌

作品数:119被引量:200H指数:6
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热处理温度对磁控溅射氧化钇薄膜形貌及物相的影响
《热加工工艺》2025年第3期82-86,共5页陈浩 曹振亚 姜志忠 孙嘉隆 
国家磁约束核聚变能发展研究专项项目(2018YFE0312200)。
采用射频磁控溅射方法在短钨纤维表面制备Y_(2)O_(3)薄膜,薄膜厚度约100 nm。为便于研究,首先采用相同工艺将Y_(2)O_(3)薄膜沉积在钨片上,分别在500、700及900℃热处理1 h,通过扫描电镜、XRD射线衍射手段对薄膜表面形貌及物相变化分析,...
关键词:短钨纤维 磁控溅射 Y_(2)O_(3)薄膜 热处理 
热处理对Bi_(2)Te_(2.7)Se_(0.3)热电薄膜形貌及性能的影响
《甘肃科学学报》2024年第5期104-109,共6页李燕怡 李晓龙 邸友莹 陈凤英 贾欣欣 
陕西省教育厅重点科研计划项目(21JS024)。
为研究热处理对三元Bi_(2)Te_(2.7)Se_(0.3)热电薄膜形貌和性能的影响,采用恒电位沉积的方法制备了两个热电薄膜,通过X射线衍射、场发射扫描电镜(FE-SEM)对其物相、形貌进行表征;通过台阶仪和霍尔效应测试系统对薄膜的膜厚和性能进行测...
关键词:热处理 热电材料 薄膜 热电性能 形貌 
PTPC在化学机械平坦化中的应用
《电子工业专用设备》2024年第4期45-48,共4页白琨 贾若雨 岳爽 李嘉浪 
化学机械平坦化(CMP)在铜工艺中需要对晶圆形貌进行精准控制。精确调整过程控制系统(PTPC)利用传感器实时检测晶圆表面铜膜厚度,采用闭环控制实时调整研磨头分区压力。实现了比开环控制更加均匀的薄膜研磨过程,达到了均匀控制晶圆表面...
关键词:精确调整过程控制 闭环控制 压力 晶圆表面薄膜形貌 
中低温退火对MoS_(2)纳米薄膜形貌、结构及电性能的影响
《金属热处理》2024年第7期186-194,共9页刘春泉 熊芬 马佳仪 周锦添 梁泽巽 黄建平 
湖南省科技人才托举工程项目“小荷”科技人才专项(2023TJ-X10);湖南省自然科学基金(2023JJ50108);湖南省创新型省份建设专项科普专题项目(2023ZK4316);湖南省教育厅科学研究项目(20A137,22C0629);湖南省应用特色学科材料科学与工程学科(湘教通[2022]351);衡阳市“小荷”科技人才项目(衡市科协字[2022]68);湖南工学院自科培育项目(2022HY007);湖南省大学生创新创业训练计划项目(S202411528133,S202311528111,S202311528096X)。
采用射频(RF)磁控溅射室温沉积制备了不同厚度的MoS_(2)薄膜,然后在95%Ar+5%H_(2)混合气氛中进行不同退火处理,采用原子力显微镜(AFM)、拉曼光谱、四探针和霍尔测试仪系统地研究了不同退火条件对MoS_(2)薄膜结构、表面形貌和电学性能的...
关键词:MoS_(2)薄膜 中低温退火 结晶性 
绿色混合反溶剂对钙钛矿薄膜形貌的影响被引量:3
《现代化工》2023年第S02期238-242,共5页张万年 李志义 魏炜 刘凤霞 刘志军 
采用乙酸乙酯(EA)和异丁醇(IBA)作为绿色混合反溶剂。调节EA与IBA的混合比例,通过控制前驱体溶液的成核速率来控制晶体的成长,最终制备成表面形貌良好、大颗粒且无针孔型钙钛矿薄膜,为制备绿色环保型钙钛矿太阳能电池提供新方法。
关键词:钙钛矿 结晶度 绿色反溶剂 
不同工艺参数对TiN薄膜形貌和力学性能的影响被引量:2
《新技术新工艺》2023年第10期59-65,共7页于朋 何箐 袁涛 王世兴 董金全 
随着硬质薄膜的快速发展,TiN薄膜已经在诸多领域成功应用。通过采用PVD多功能离子镀膜机在不同工艺参数条件下制备了TiN薄膜,研究不同工艺参数对TiN薄膜表面大颗粒形貌和力学性能的影响。利用扫描电子显微镜对TiN薄膜的表面形貌进行研究...
关键词:多弧离子镀 TIN薄膜 表面形貌 弧电流 沉积温度 力学性能 负偏压 
烷基链支化位点对全稠环小分子受体聚集的影响被引量:1
《高等学校化学学报》2023年第7期111-121,共11页张永倩 朱小玉 苗俊辉 刘俊 王利祥 
吉林省自然科学基金(批准号:20230101122JC);国家自然科学基金(批准号:22135007,52073281);国家重点研发计划项目(批准号:2019YFA0705900)资助.
全稠环分子是一种具有优异稳定性的新型电子受体材料,可应用于有机太阳能电池.本文设计了2个具有不同吡咯单元上烷基链支化位点的全稠环小分子受体FM5与FM6,并研究了烷基链的支化位点对全稠环分子的光电性质和分子堆积性质的影响.与具有...
关键词:全稠环分子 有机太阳能电池 电子受体 薄膜形貌 烷基链支化位点 
制备条件对ScYSZ薄膜形貌的影响及其生长模型
《电源技术》2023年第5期601-605,共5页李韫琪 李成新 李智 刘涛 
山东能源集团有限公司项目“金属支撑SOFC千瓦级电堆模块关键技术”资助。
采用溶液旋涂法在石英基体上制备了氧化钇氧化钪共稳定氧化锆(ScYSZ)阻挡层薄膜,对前驱体的热分解过程进行了分析,并研究了基体温度和热处理温度对薄膜形貌的影响,在此基础上揭示了前驱体溶液结晶形核生长的过程。结果表明:前驱体在580...
关键词:阻挡层 薄膜 形核 溶液旋涂 固体氧化物燃料电池 
氮氩比对多弧离子镀TiAlSiN薄膜形貌和性能的影响
《材料保护》2023年第4期110-115,123,共7页覃群 吴浩龙 王天国 
湖北省教育厅科学技术项目(Q20181802);湖北省市场监督管理局科技计划项目(Hbscjg-kj201906)资助。
为了改善模具钢表面质量,采用多弧离子镀技术在H13模具钢表面沉积TiAlSiN薄膜,采用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)等方法研究了不同氮氩比对薄膜表面形貌、硬度、结合力、耐腐蚀性能和抗氧化性的影响。结果表明:当氮氩比为8∶2时,薄膜...
关键词:氮氩比 TiAlSiN薄膜 多弧离子镀 耐腐蚀性 抗氧化性能 
ZnSO_(4)对钛基钛酸盐薄膜形貌和光吸收的影响被引量:1
《黄河科技学院学报》2023年第2期17-19,共3页安勇良 刘思思 
为了研究ZnSO_(4)对钛基钛酸盐薄膜形貌和光吸收性能的影响规律,通过以ZnSO_(4)为溶剂的碱性水热法制备了新型钛基钛酸盐薄膜,样品通过扫描电子显微镜SEM,X射线衍射XRD和紫外可见光吸收光谱UV-vis进行表征测试。结果表明,没有加入ZnSO_...
关键词:水热法 光吸收 薄膜 
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