纳米测量机

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相关领域：机械工程一般工业技术更多>>
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微米级台阶高度测量方法对比
《精品》2020年第17期261-262,共2页王强栋 韩志国 
本文通过两种台阶高度测试方法的测试比对,佐证了白光干涉技术在微米级台阶高度测量方面精度很高。首先,介绍了白光干涉仪的测量原理,详细介绍了该仪器的组成及测量过程;其次,对台阶高度的定义及其表征方法进行了论述,为台阶高度的测量...
关键词：白光干涉 台阶高度 标准样块 纳米测量机 
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