云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 纳米测量机

纳米测量机: 作品数：27被引量：123H指数：6; 导出分析报告; 相关领域：机械工程一般工业技术更多>>; 相关作者：胡小唐李源傅星郭彤陈津平更多>>; 相关机构：天津大学上海市计量测试技术研究院合肥工业大学中航工业北京长城计量测试技术研究所更多>>; 相关期刊：《上海计量测试》《工业计量》《自动化仪表》《组合机床与自动化加工技术》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家教育部博士点基金国家质检总局科技计划项目更多>>

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微纳米测量机测头结构的参数设计及分析被引量：8: 《计量学报》2013年第5期401-405,共5页陈贺陈晓怀王珊杨桥李瑞君; 国家自然科学基金（51275148）;863计划重点项（2008AA042409）; 设计了一种高精度的接触扫描式测头，提出了4种测头弹性结构的设计方案。根据测头的测量范围、测量灵敏性、测量稳定性、各向同性的要求，选择了最优的设计结构。对选择的结构进行了参数设计、力学分析和有限元分析，分析结果表明设计...; 关键词：计量学接触扫描式测头微纳米测量机力学分析弹性结构设计

集成AFM测头的纳米测量机用于台阶高度的评价被引量：1: 《计量学报》2008年第4期297-300,共4页郭彤陈津平傅星 T. Hausotte G. Jager 胡小唐; 国家863计划(2006AA04Z327);教育部博士点基金(新教师基金)(20070056072); 利用纳米测量机(NMM)和原子力显微镜(AFM)实现了高精度的台阶高度评价,该系统的测量范围可以达到25 mm×25 mm×5 mm。文中描述了NMM和AFM的工作原理,说明了NMM的高精度定位性能,系统利用NMM实现x、y方向的扫描,AFM测头只是作为零点传感...; 关键词：计量学纳米测量机原子力显微镜台阶高度标准

隧道状态下纳米级振动检测技术的研究被引量：1: 《计量学报》2006年第2期141-144,共4页李梦超傅星郭彤胡小唐; 国家自然科学基金(60372006); 使用德国SIOS公司生产的纳米坐标测量机微动平台作为调整机构,配合自行研制的隧道电流传感器,通过外加振动源,在隧道状态下对纳米级振动进行了检测实验。纳米级振动的研究既可以分析微弱振动对扫描隧道显微镜的作用机理,为以后的扫描隧...; 关键词：计量学纳米级振动隧道效应纳米测量机微动平台振动补偿

利用纳米测量机实现大范围的计量型原子力显微镜被引量：4: 《计量学报》2005年第1期1-4,共4页郭彤傅星陈津平胡晓东胡小唐; 国家863计划(2002AA404090);国家自然科学基金(60372006); 利用纳米测量机(NMM)和原子力显微镜(AFM)实现了大范围的计量型AFM,测量范围可以达到25mmⅹ25mmⅹ5mm,分辨力为0.1nm。纳米测量机扩展了普通AFM测头的测量范围,减小了压电扫描器固有特性的影响。运动全范围内的自适应误差补偿通过5个自...; 关键词：计量学纳米测量机计量型原子力显微镜激光干涉仪大范围测量

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