纳米多层薄膜

作品数：20被引量：84H指数：6
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TiN/TiB_2纳米多层膜的共格外延生长
《电子显微学报》2005年第4期275-275,共1页戴嘉维 岳建岭 李戈扬 
上海市专利技术再创新项目(No.03725052).
关键词：纳米多层膜 共格界面 外延生长 TIB2 TiN 超硬效应 纳米多层薄膜 调制周期 生长结构 
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