纳米制造技术

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全国半导体设备与材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会(筹)全体大会暨国家标准审定会圆满闭幕
《微纳电子技术》2012年第1期68-68,共1页
全国半导体设备与材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会（筹）全体大会暨国家标准审定会于2011年11月24—25日在深圳市顺利召开，来自全国各地37个单位的55名代表参加了本次会议，参加会议的还有北京电子学会半导体委员会委员与《微...
关键词：标准化技术委员会 半导体设备 微光刻技术 国家标准 审定 材料 纳米制造技术 用户单位 
Advance of Nanolithography, its Applications and ProspectsAdvance of Nanolithography, its Applications and Prospects
《纳米科技》2009年第5期3-10,共8页CHEN Yi-fang 
关键词：印刷技术 纳米制造技术 光子超材料 光刻技术 
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