耐压模型

作品数:11被引量:26H指数:2
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表面注入D-RESURF器件耐压模型被引量:1
《半导体技术》2011年第5期348-351,共4页李琦 王卫东 张杨 张法碧 
广西自然科学基金(2010GXNSFB013054);广西千亿元产业重大科技攻关工程项目(1114001-10F);桂林电子科技大学博士科研启动基金(UF08021Y)
建立表面注入双重降低表面电场(D-RESURF)结构击穿电压模型。D-RESURF器件在衬底纵向电场和Pb区附加电场的影响下,漂移区电荷共享效应增强,优化漂移区掺杂浓度增大,器件导通电阻降低。分析漂移区浓度和厚度对击穿电压的影响,获得改善击...
关键词:表面注入 双重降低表面电场 模型 击穿电压 导通电阻 
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