多层布线基板

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半导体与微电子技术
《电子科技文摘》1999年第7期28-32,共5页
9909044一种新型 MCM 基板:阳极氧化多层基板[刊]/刘彤//电子元件与材料.—1999,18(1).—15～17(C)采用电化学方法,对基板上的 A1膜进行选择性阳极氧化,从而制得导带、通孔和介质,重复上述工序,便可制得多层布线基板。与常用多层布线基...
关键词：阳极氧化 微电子技术 多层布线基板 情报通信 半导体 深亚微米 电子器件 电化学方法 研究报告 晶闸管 
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